公开(公告)号：CN114341631B

公开(公告)日：2024-12-31

申请号：CN201980099996.7

申请日：2019-09-04

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 千叶宽幸 ,  陈伟健 ,  小松崎谅 ,  佐藤博文

IPC: G01N23/2251 ,  H01J37/22 ,  H01J37/24 ,  H01J37/252

Abstract: 一种带电粒子束装置(100)具有：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；粒子检测部(130)，其对向试样(S)照射带电粒子束引起的粒子进行检测；以及控制部(151)，其根据来自粒子检测部(130)的输出来生成试样(S)的图像，控制部(151)向用于检测第一构造(401)以及第二构造(402)的模型(M1)以及(M2)输入试样(S)的图像，从模型(M1)以及(M2)取得与第一构造(401)相关的第一检测结果以及与第二构造(402)相关的第二检测结果，根据第一检测结果以及第二检测结果来决定第一构造(401)以及第二构造(402)的位置或区域，输出表示第一构造(401)的位置或区域以及第二构造(402)的位置或区域的综合结果图像(203)。

公开(公告)号：CN114270182A

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN201980099623.X

申请日：2019-09-04

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小松崎谅 ,  千叶宽幸 ,  陈伟健 ,  佐藤博文

IPC: G01N23/2251 ,  H01J37/22 ,  H01J37/252

Abstract: 本发明的带电粒子束装置(100)具备：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；检测部(130)，其输出向试样(S)照射带电粒子束引起的信号；显示部(154)，其输出用于从多个条件组中选择1个条件组的条件选择界面；以及控制部(151)，其执行与关注对象物相关的评价。条件组包含：从多个已学习模型中确定1个已学习模型的信息；从包含照射条件以及检测条件的至少一方的多个搜索条件中确定1个搜索条件的信息；以及从规定照射部(110)以及检测部(130)的至少一方的动作的多个解析条件中确定1个解析条件的信息。带电粒子束装置(100)经由条件选择界面接受条件组的选择，基于所确定的搜索条件，对试样(S)的第一区域照射带电粒子束，检测由该照射引起的第一信号，向所确定的已学习模型交接基于第一信号的信息，从所确定的已学习模型取得表示包含关注对象物的候选位置的试样(S)的第二区域的信息，第二区域是第一区域的一部分且比第一区域小，基于所确定的解析条件，对第二区域照射带电粒子束，对由该照射引起的第二信号进行检测，将基于第二信号的信息输入到控制部(151)。

公开(公告)号：CN119678240A

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：CN202280098963.2

申请日：2022-09-06

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 陈伟健 ,  千叶宽幸 ,  三濑大海

IPC: H01J37/22

Abstract: 试样的观察辅助装置具备：观察位置显示部，其将通过带电粒子束装置对试样进行拍摄而得到的多个拍摄图像的位置与图像显示部对应起来进行显示；显示处理部，其控制所述观察位置显示部；以及代表图像选择处理部，其根据所述多个拍摄图像来选择代表图像，所述显示处理部根据所述图像显示部的倍率被变更的情况，将所述代表图像控制为容易视觉辨认的尺寸并显示于观察位置显示部。

公开(公告)号：CN114270182B

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN201980099623.X

申请日：2019-09-04

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小松崎谅 ,  千叶宽幸 ,  陈伟健 ,  佐藤博文

IPC: G01N23/2251 ,  H01J37/22 ,  H01J37/252

Abstract: 本发明的带电粒子束装置(100)具备：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；检测部(130)，其输出向试样(S)照射带电粒子束引起的信号；显示部(154)，其输出用于从多个条件组中选择1个条件组的条件选择界面；以及控制部(151)，其执行与关注对象物相关的评价。条件组包含：从多个已学习模型中确定1个已学习模型的信息；从包含照射条件以及检测条件的至少一方的多个搜索条件中确定1个搜索条件的信息；以及从规定照射部(110)以及检测部(130)的至少一方的动作的多个解析条件中确定1个解析条件的信息。带电粒子束装置(100)经由条件选择界面接受条件组的选择，基于所确定的搜索条件，对试样(S)的第一区域照射带电粒子束，检测由该照射引起的第一信号，向所确定的已学习模型交接基于第一信号的信息，从所确定的已学习模型取得表示包含关注对象物的候选位置的试样(S)的第二区域的信息，第二区域是第一区域的一部分且比第一区域小，基于所确定的解析条件，对第二区域照射带电粒子束，对由该照射引起的第二信号进行检测，将基于第二信号的信息输入到控制部(151)。

公开(公告)号：CN114341631A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN201980099996.7

申请日：2019-09-04

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 千叶宽幸 ,  陈伟健 ,  小松崎谅 ,  佐藤博文

IPC: G01N23/2251 ,  H01J37/22 ,  H01J37/24 ,  H01J37/252

Abstract: 一种带电粒子束装置(100)具有：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；粒子检测部(130)，其对向试样(S)照射带电粒子束引起的粒子进行检测；以及控制部(151)，其根据来自粒子检测部(130)的输出来生成试样(S)的图像，控制部(151)向用于检测第一构造(401)以及第二构造(402)的模型(M1)以及(M2)输入试样(S)的图像，从模型(M1)以及(M2)取得与第一构造(401)相关的第一检测结果以及与第二构造(402)相关的第二检测结果，根据第一检测结果以及第二检测结果来决定第一构造(401)以及第二构造(402)的位置或区域，输出表示第一构造(401)的位置或区域以及第二构造(402)的位置或区域的综合结果图像(203)。