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公开(公告)号：CN113728411B
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN201980095455.7
申请日：2019-04-18
Applicant: 株式会社日立高新技术
Inventor： 小松崎谅
IPC: H01J37/22
Abstract: 关于带电粒子束装置，提供一种能够实现防止与拍摄图像相关的画质劣化的技术。带电粒子束装置具备向试样照射带电粒子束并将试样的信息图像化的拍摄装置和计算机。计算机存储通过多次扫描相同区域而得到的各图像(扫描图像)，将各图像分类为包含劣化图像的图像和不包含劣化图像的图像，保存从不包含劣化图像的图像通过图像累计而得到的目标图像。带电粒子束装置具备存储从包含扫描图像的拍摄装置得到的信息、分类结果以及目标图像等数据的数据库。带电粒子束装置通过对扫描图像中的不包含所选择的劣化图像的图像实施图像累计，从而得到抑制了随机噪声、防止了画质劣化的S/N和锐度高的目标图像。
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公开(公告)号：CN113728411A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN201980095455.7
申请日：2019-04-18
Applicant: 株式会社日立高新技术
Inventor： 小松崎谅
IPC: H01J37/22
Abstract: 关于带电粒子束装置，提供一种能够实现防止与拍摄图像相关的画质劣化的技术。带电粒子束装置具备向试样照射带电粒子束并将试样的信息图像化的拍摄装置和计算机。计算机存储通过多次扫描相同区域而得到的各图像(扫描图像)，将各图像分类为包含劣化图像的图像和不包含劣化图像的图像，保存从不包含劣化图像的图像通过图像累计而得到的目标图像。带电粒子束装置具备存储从包含扫描图像的拍摄装置得到的信息、分类结果以及目标图像等数据的数据库。带电粒子束装置通过对扫描图像中的不包含所选择的劣化图像的图像实施图像累计，从而得到抑制了随机噪声、防止了画质劣化的S/N和锐度高的目标图像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114270182B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN201980099623.X
申请日：2019-09-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , H01J37/22 , H01J37/252
Abstract: 本发明的带电粒子束装置(100)具备：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；检测部(130)，其输出向试样(S)照射带电粒子束引起的信号；显示部(154)，其输出用于从多个条件组中选择1个条件组的条件选择界面；以及控制部(151)，其执行与关注对象物相关的评价。条件组包含：从多个已学习模型中确定1个已学习模型的信息；从包含照射条件以及检测条件的至少一方的多个搜索条件中确定1个搜索条件的信息；以及从规定照射部(110)以及检测部(130)的至少一方的动作的多个解析条件中确定1个解析条件的信息。带电粒子束装置(100)经由条件选择界面接受条件组的选择，基于所确定的搜索条件，对试样(S)的第一区域照射带电粒子束，检测由该照射引起的第一信号，向所确定的已学习模型交接基于第一信号的信息，从所确定的已学习模型取得表示包含关注对象物的候选位置的试样(S)的第二区域的信息，第二区域是第一区域的一部分且比第一区域小，基于所确定的解析条件，对第二区域照射带电粒子束，对由该照射引起的第二信号进行检测，将基于第二信号的信息输入到控制部(151)。
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公开(公告)号：CN114341631A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN201980099996.7
申请日：2019-09-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , H01J37/22 , H01J37/24 , H01J37/252
Abstract: 一种带电粒子束装置(100)具有：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；粒子检测部(130)，其对向试样(S)照射带电粒子束引起的粒子进行检测；以及控制部(151)，其根据来自粒子检测部(130)的输出来生成试样(S)的图像，控制部(151)向用于检测第一构造(401)以及第二构造(402)的模型(M1)以及(M2)输入试样(S)的图像，从模型(M1)以及(M2)取得与第一构造(401)相关的第一检测结果以及与第二构造(402)相关的第二检测结果，根据第一检测结果以及第二检测结果来决定第一构造(401)以及第二构造(402)的位置或区域，输出表示第一构造(401)的位置或区域以及第二构造(402)的位置或区域的综合结果图像(203)。
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公开(公告)号：CN119920664A
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202411978779.4
申请日：2019-04-18
Applicant: 株式会社日立高新技术
Inventor： 小松崎谅
IPC: H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28 , G06V10/764
Abstract: 关于带电粒子束装置，提供一种能够实现防止与拍摄图像相关的画质劣化的技术。带电粒子束装置具备向试样照射带电粒子束并将试样的信息图像化的拍摄装置和计算机。计算机存储通过多次扫描相同区域而得到的各图像(扫描图像)，将各图像分类为包含劣化图像的图像和不包含劣化图像的图像，保存从不包含劣化图像的图像通过图像累计而得到的目标图像。带电粒子束装置具备存储从包含扫描图像的拍摄装置得到的信息、分类结果以及目标图像等数据的数据库。带电粒子束装置通过对扫描图像中的不包含所选择的劣化图像的图像实施图像累计，从而得到抑制了随机噪声、防止了画质劣化的S/N和锐度高的目标图像。
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公开(公告)号：CN114341631B
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN201980099996.7
申请日：2019-09-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , H01J37/22 , H01J37/24 , H01J37/252
Abstract: 一种带电粒子束装置(100)具有：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；粒子检测部(130)，其对向试样(S)照射带电粒子束引起的粒子进行检测；以及控制部(151)，其根据来自粒子检测部(130)的输出来生成试样(S)的图像，控制部(151)向用于检测第一构造(401)以及第二构造(402)的模型(M1)以及(M2)输入试样(S)的图像，从模型(M1)以及(M2)取得与第一构造(401)相关的第一检测结果以及与第二构造(402)相关的第二检测结果，根据第一检测结果以及第二检测结果来决定第一构造(401)以及第二构造(402)的位置或区域，输出表示第一构造(401)的位置或区域以及第二构造(402)的位置或区域的综合结果图像(203)。
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公开(公告)号：CN114270182A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN201980099623.X
申请日：2019-09-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , H01J37/22 , H01J37/252
Abstract: 本发明的带电粒子束装置(100)具备：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；检测部(130)，其输出向试样(S)照射带电粒子束引起的信号；显示部(154)，其输出用于从多个条件组中选择1个条件组的条件选择界面；以及控制部(151)，其执行与关注对象物相关的评价。条件组包含：从多个已学习模型中确定1个已学习模型的信息；从包含照射条件以及检测条件的至少一方的多个搜索条件中确定1个搜索条件的信息；以及从规定照射部(110)以及检测部(130)的至少一方的动作的多个解析条件中确定1个解析条件的信息。带电粒子束装置(100)经由条件选择界面接受条件组的选择，基于所确定的搜索条件，对试样(S)的第一区域照射带电粒子束，检测由该照射引起的第一信号，向所确定的已学习模型交接基于第一信号的信息，从所确定的已学习模型取得表示包含关注对象物的候选位置的试样(S)的第二区域的信息，第二区域是第一区域的一部分且比第一区域小，基于所确定的解析条件，对第二区域照射带电粒子束，对由该照射引起的第二信号进行检测，将基于第二信号的信息输入到控制部(151)。
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