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公开(公告)号：CN108292578A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201580084713.3
申请日：2015-11-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种带电粒子射线装置，即使在观察图像的倍率与显示观察位置的图像的倍率有较大差异的情况下，也能在该带电粒子射线装置中示出观察位置。带电粒子射线装置包括：显示操作画面的显示部，该操作画面具有显示观察图像的观察图像显示部(201)、以及显示所述观察图像的观察位置的观察位置显示部(203)；以及对所述操作画面的显示处理进行控制的控制部，所述控制部基于获取到所述观察图像时的倍率及坐标来将所述倍率不同的多个观察位置显示用图像(204、301)重叠显示于所述观察位置显示部。
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公开(公告)号：CN111433594B
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN201780094638.8
申请日：2017-10-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , G02B21/36 , H04N7/18
Abstract: 本发明的目的在于：在获取多个样本切片的图像的拍摄装置中，容易地获取各切片之间的对应的位置的图像。本发明的拍摄装置根据第一样本切片的特征点和第一观察区域之间的对应关系，计算第二样本切片的第二观察区域的坐标，并生成该计算出的坐标处的观察图像(参照图7B)。
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公开(公告)号：CN108292578B
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN201580084713.3
申请日：2015-11-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种带电粒子射线装置，即使在观察图像的倍率与显示观察位置的图像的倍率有较大差异的情况下，也能在该带电粒子射线装置中示出观察位置。带电粒子射线装置包括：显示操作画面的显示部，该操作画面具有显示观察图像的观察图像显示部(201)、以及显示所述观察图像的观察位置的观察位置显示部(203)；以及对所述操作画面的显示处理进行控制的控制部，所述控制部基于获取到所述观察图像时的倍率及坐标来将所述倍率不同的多个观察位置显示用图像(204、301)重叠显示于所述观察位置显示部。
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公开(公告)号：CN111433594A
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN201780094638.8
申请日：2017-10-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , G02B21/36 , H04N7/18
Abstract: 本发明的目的在于：在获取多个样本切片的图像的拍摄装置中，容易地获取各切片之间的对应的位置的图像。本发明的拍摄装置根据第一样本切片的特征点和第一观察区域之间的对应关系，计算第二样本切片的第二观察区域的坐标，并生成该计算出的坐标处的观察图像(参照图7B)。
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公开(公告)号：CN119678240A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202280098963.2
申请日：2022-09-06
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22
Abstract: 试样的观察辅助装置具备：观察位置显示部，其将通过带电粒子束装置对试样进行拍摄而得到的多个拍摄图像的位置与图像显示部对应起来进行显示；显示处理部，其控制所述观察位置显示部；以及代表图像选择处理部，其根据所述多个拍摄图像来选择代表图像，所述显示处理部根据所述图像显示部的倍率被变更的情况，将所述代表图像控制为容易视觉辨认的尺寸并显示于观察位置显示部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114270182B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN201980099623.X
申请日：2019-09-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , H01J37/22 , H01J37/252
Abstract: 本发明的带电粒子束装置(100)具备：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；检测部(130)，其输出向试样(S)照射带电粒子束引起的信号；显示部(154)，其输出用于从多个条件组中选择1个条件组的条件选择界面；以及控制部(151)，其执行与关注对象物相关的评价。条件组包含：从多个已学习模型中确定1个已学习模型的信息；从包含照射条件以及检测条件的至少一方的多个搜索条件中确定1个搜索条件的信息；以及从规定照射部(110)以及检测部(130)的至少一方的动作的多个解析条件中确定1个解析条件的信息。带电粒子束装置(100)经由条件选择界面接受条件组的选择，基于所确定的搜索条件，对试样(S)的第一区域照射带电粒子束，检测由该照射引起的第一信号，向所确定的已学习模型交接基于第一信号的信息，从所确定的已学习模型取得表示包含关注对象物的候选位置的试样(S)的第二区域的信息，第二区域是第一区域的一部分且比第一区域小，基于所确定的解析条件，对第二区域照射带电粒子束，对由该照射引起的第二信号进行检测，将基于第二信号的信息输入到控制部(151)。
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公开(公告)号：CN114341631A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN201980099996.7
申请日：2019-09-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , H01J37/22 , H01J37/24 , H01J37/252
Abstract: 一种带电粒子束装置(100)具有：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；粒子检测部(130)，其对向试样(S)照射带电粒子束引起的粒子进行检测；以及控制部(151)，其根据来自粒子检测部(130)的输出来生成试样(S)的图像，控制部(151)向用于检测第一构造(401)以及第二构造(402)的模型(M1)以及(M2)输入试样(S)的图像，从模型(M1)以及(M2)取得与第一构造(401)相关的第一检测结果以及与第二构造(402)相关的第二检测结果，根据第一检测结果以及第二检测结果来决定第一构造(401)以及第二构造(402)的位置或区域，输出表示第一构造(401)的位置或区域以及第二构造(402)的位置或区域的综合结果图像(203)。
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公开(公告)号：CN107924801B
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201680046720.9
申请日：2016-07-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明的目的涉及，能利用低倍率的光学像和高倍率的光学像高精度、操作性良好、高吞吐量地调整样品平台与光学像的对准。本发明涉及，能使用第1处理完毕光学像实施基于样品台对准的对准调整，其中，第1处理完毕光学像是通过数字处理对保持了样品的样品台的光学像进行放大或缩小或视野变更而得到的，能使用与第1处理完毕光学像不同的第2处理完毕光学像实施基于对准点指定的对准调整。根据本发明，不将保持了样品的样品台从样品室取出，就能以样品台的外形和样品上的特征点为基准来调整样品平台与光学像的对准。
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公开(公告)号：CN114341631B
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN201980099996.7
申请日：2019-09-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , H01J37/22 , H01J37/24 , H01J37/252
Abstract: 一种带电粒子束装置(100)具有：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；粒子检测部(130)，其对向试样(S)照射带电粒子束引起的粒子进行检测；以及控制部(151)，其根据来自粒子检测部(130)的输出来生成试样(S)的图像，控制部(151)向用于检测第一构造(401)以及第二构造(402)的模型(M1)以及(M2)输入试样(S)的图像，从模型(M1)以及(M2)取得与第一构造(401)相关的第一检测结果以及与第二构造(402)相关的第二检测结果，根据第一检测结果以及第二检测结果来决定第一构造(401)以及第二构造(402)的位置或区域，输出表示第一构造(401)的位置或区域以及第二构造(402)的位置或区域的综合结果图像(203)。
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公开(公告)号：CN114270182A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN201980099623.X
申请日：2019-09-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , H01J37/22 , H01J37/252
Abstract: 本发明的带电粒子束装置(100)具备：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；检测部(130)，其输出向试样(S)照射带电粒子束引起的信号；显示部(154)，其输出用于从多个条件组中选择1个条件组的条件选择界面；以及控制部(151)，其执行与关注对象物相关的评价。条件组包含：从多个已学习模型中确定1个已学习模型的信息；从包含照射条件以及检测条件的至少一方的多个搜索条件中确定1个搜索条件的信息；以及从规定照射部(110)以及检测部(130)的至少一方的动作的多个解析条件中确定1个解析条件的信息。带电粒子束装置(100)经由条件选择界面接受条件组的选择，基于所确定的搜索条件，对试样(S)的第一区域照射带电粒子束，检测由该照射引起的第一信号，向所确定的已学习模型交接基于第一信号的信息，从所确定的已学习模型取得表示包含关注对象物的候选位置的试样(S)的第二区域的信息，第二区域是第一区域的一部分且比第一区域小，基于所确定的解析条件，对第二区域照射带电粒子束，对由该照射引起的第二信号进行检测，将基于第二信号的信息输入到控制部(151)。
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