公开(公告)号：CN107924801B

公开(公告)日：2019-11-19

申请号：CN201680046720.9

申请日：2016-07-08

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 三上圭介 ,  根崎俊明 ,  千叶宽幸

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/20 ,  H01J37/24 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明的目的涉及，能利用低倍率的光学像和高倍率的光学像高精度、操作性良好、高吞吐量地调整样品平台与光学像的对准。本发明涉及，能使用第1处理完毕光学像实施基于样品台对准的对准调整，其中，第1处理完毕光学像是通过数字处理对保持了样品的样品台的光学像进行放大或缩小或视野变更而得到的，能使用与第1处理完毕光学像不同的第2处理完毕光学像实施基于对准点指定的对准调整。根据本发明，不将保持了样品的样品台从样品室取出，就能以样品台的外形和样品上的特征点为基准来调整样品平台与光学像的对准。

公开(公告)号：CN107924801A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680046720.9

申请日：2016-07-08

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 三上圭介 ,  根崎俊明 ,  千叶宽幸

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/20 ,  H01J37/24 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明的目的涉及，能利用低倍率的光学像和高倍率的光学像高精度、操作性良好、高吞吐量地调整样品平台与光学像的对准。本发明涉及，能使用第1处理完毕光学像实施基于样品台对准的对准调整，其中，第1处理完毕光学像是通过数字处理对保持了样品的样品台的光学像进行放大或缩小或视野变更而得到的，能使用与第1处理完毕光学像不同的第2处理完毕光学像实施基于对准点指定的对准调整。根据本发明，不将保持了样品的样品台从样品室取出，就能以样品台的外形和样品上的特征点为基准来调整样品平台与光学像的对准。