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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119678240A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202280098963.2
申请日：2022-09-06
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22
Abstract: 试样的观察辅助装置具备：观察位置显示部，其将通过带电粒子束装置对试样进行拍摄而得到的多个拍摄图像的位置与图像显示部对应起来进行显示；显示处理部，其控制所述观察位置显示部；以及代表图像选择处理部，其根据所述多个拍摄图像来选择代表图像，所述显示处理部根据所述图像显示部的倍率被变更的情况，将所述代表图像控制为容易视觉辨认的尺寸并显示于观察位置显示部。
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公开(公告)号：CN112189249A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201880093216.3
申请日：2018-05-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供在需要进行各个装置之间的移动的试样的观察中容易在装置之间移动的电荷粒子线装置、试样加工方法、以及观察方法。在使用电荷粒子线加工试样上的观察对象的电荷粒子线装置中，具备：试样台，其载置上述试样；观察部，其观察上述观察对象；写入部，其向上述试样的写入位置写入上述观察对象的信息。
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公开(公告)号：CN116157891B
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202080105369.2
申请日：2020-09-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明的目的在于迅速且高精度地取得多层构造的深度信息。解析系统具备如下步骤：(a)从第一方向对包含多层构造的试样SAM照射电子束(EB1)，由此取得从第一方向观察到的试样(SAM)的第一拍摄像；(b)从与第一方向交叉的第二方向对试样SAM照射电子束(EB1)，由此取得从第二方向观察到的试样(SAM)的第二拍摄像；(c)使用第一拍摄像、第二拍摄像、以及包含多层构造的层数、多层构造的1层的厚度或各层的厚度、多层构造的第一层起始的深度的试样(SAM)的信息，取得多层构造的深度信息。
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公开(公告)号：CN112189249B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN201880093216.3
申请日：2018-05-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供在需要进行各个装置之间的移动的试样的观察中容易在装置之间移动的电荷粒子线装置、试样加工方法、以及观察方法。在使用电荷粒子线加工试样上的观察对象的电荷粒子线装置中，具备：试样台，其载置上述试样；观察部，其观察上述观察对象；写入部，其向上述试样的写入位置写入上述观察对象的信息。
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公开(公告)号：CN116157891A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202080105369.2
申请日：2020-09-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22
Abstract: 本发明的目的在于迅速且高精度地取得多层构造的深度信息。解析系统具备如下步骤：(a)从第一方向对包含多层构造的试样SAM照射电子束(EB1)，由此取得从第一方向观察到的试样(SAM)的第一拍摄像；(b)从与第一方向交叉的第二方向对试样SAM照射电子束(EB1)，由此取得从第二方向观察到的试样(SAM)的第二拍摄像；(c)使用第一拍摄像、第二拍摄像、以及包含多层构造的层数、多层构造的1层的厚度或各层的厚度、多层构造的第一层起始的深度的试样(SAM)的信息，取得多层构造的深度信息。
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