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公开(公告)号：CN111344831B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN201780096823.0
申请日：2017-11-27
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 有：电磁波产生源(16)，产生供照射到试样的电磁波；带电粒子光学系统，包含脉冲化机构(3)，供汇集带电粒子束而照射到试样；检测器(10)，检测由于带电粒子束和试样的相互作用而被放出的放出电子；第1照射控制部(15)，控制电磁波产生源，使脉冲电磁波照射到试样生成激发载流子；第2照射控制部(14)，控制脉冲化机构，将脉冲带电粒子束照射到试样的电磁波照射区域；及定时控制部(13)，定时控制部将基于检测器的放出电子的检测与脉冲带电粒子束的照射同步进行，控制第1照射控制部和第2照射控制部，控制对电磁波照射区域的脉冲电磁波和脉冲带电粒子束的间隔时间。由此，能基于放出电子量的过渡变化，以纳米空间分辨率检测试样信息。
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公开(公告)号：CN112106168B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN201880093423.9
申请日：2018-05-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/153 , H01J37/145 , H01J37/244
Abstract: 本发明是一种具备减速光学系统的带电粒子束装置，通过抑制由物镜‑试样间的构造物引起的减速电场的变化和轴偏离，能够降低对照射系统、检测系统造成的不良影响。带电粒子束装置具有：电子源(2)；使来自电子源的探测电子束聚焦于试样(12)的物镜(4)；使探测电子束加速的加速电极(3)；设于加速电极内的第一检测器(6)；在与加速电极之间形成针对探测电子束的减速电场并且探测电子束在其开口通过的减速电极(5)；以及插入减速电极与试样之间的第二检测器(7)，第二检测器具有比减速电极的开口大的开口部(9)，并在开口部的周围设有敏感面(8)。
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公开(公告)号：CN112106168A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201880093423.9
申请日：2018-05-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/153 , H01J37/145 , H01J37/244
Abstract: 本发明是一种具备减速光学系统的带电粒子束装置，通过抑制由物镜‑试样间的构造物引起的减速电场的变化和轴偏离，能够降低对照射系统、检测系统造成的不良影响。带电粒子束装置具有：电子源(2)；使来自电子源的探测电子束聚焦于试样(12)的物镜(4)；使探测电子束加速的加速电极(3)；设于加速电极内的第一检测器(6)；在与加速电极之间形成针对探测电子束的减速电场并且探测电子束在其开口通过的减速电极(5)；以及插入减速电极与试样之间的第二检测器(7)，第二检测器具有比减速电极的开口大的开口部(9)，并在开口部的周围设有敏感面(8)。
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公开(公告)号：CN111344831A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201780096823.0
申请日：2017-11-27
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 有：电磁波产生源(16)，产生供照射到试样的电磁波；带电粒子光学系统，包含脉冲化机构(3)，供汇集带电粒子束而照射到试样；检测器(10)，检测由于带电粒子束和试样的相互作用而被放出的放出电子；第1照射控制部(15)，控制电磁波产生源，使脉冲电磁波照射到试样生成激发载流子；第2照射控制部(14)，控制脉冲化机构，将脉冲带电粒子束照射到试样的电磁波照射区域；及定时控制部(13)，定时控制部将基于检测器的放出电子的检测与脉冲带电粒子束的照射同步进行，控制第1照射控制部和第2照射控制部，控制对电磁波照射区域的脉冲电磁波和脉冲带电粒子束的间隔时间。由此，能基于放出电子量的过渡变化，以纳米空间分辨率检测试样信息。
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公开(公告)号：CN112189248A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201880093567.4
申请日：2018-05-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/15 , H01J37/12 , H01J37/141 , H01J37/147
Abstract: 本发明实现一种带电粒子束装置，通过使基于减速电场的静电透镜的轴与磁场透镜的轴一致，使作为重叠透镜的轴调整容易。带电粒子束装置具有：电子源(2)；使来自电子源的探测电子束聚焦于试样的物镜(4)；使探测电子束穿过的第一束射管(8)及第二束射管(9)；配置于第一束射管(8)与试样(12)之间的减速电极(10)；通过对第一束射管(8)施加第一电位，在第一束射管(8)与减速电极(10)之间形成针对探测电子束的减速电场的第一电压源(15)；以及使第一束射管(8)的位置移动的移动机构(11)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110168696A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201780082429.1
申请日：2017-05-12
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种照射带电粒子束来观察试样的测量装置，其特征在于，包括：输出带电粒子束的粒子源；使带电粒子束聚焦的透镜；对从照射了带电粒子束的试样发射的发射电子的信号进行检测的检测器；和基于观测条件对带电粒子束的输出和发射电子的信号的检测进行控制的控制装置，作为所述观测条件，控制装置设定用于控制带电粒子束的照射周期的第1参数、用于控制脉冲状的带电粒子束的脉冲宽度的第2参数、用于在脉冲状的带电粒子束的照射时间内控制发射电子的信号的检测时刻的第3参数，第3参数是基于从带电粒子束的照射位置发射的多个发射电子的信号各自的强度之差而决定的。
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公开(公告)号：CN105190824B
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201480023861.X
申请日：2014-04-23
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/18
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/21 , H01J37/22 , H01J2237/1825 , H01J2237/26 , H01J2237/30
Abstract: 本发明提供带电粒子线装置的真空排气结构具备：设置有带电粒子源的真空室；与真空室连接的真空配管；经由真空配管而连接，并对真空室内进行排气的主真空泵；设置于真空配管的真空室与主真空泵之间的位置的非蒸发吸气泵；以及连接于真空配管的真空室与非蒸发吸气泵之间的位置连接的粗排气口。粗排气口具备用于打开关闭粗排气口的粗排气用阀和用于将真空室进行大气开放的漏泄阀。
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公开(公告)号：CN105190824A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201480023861.X
申请日：2014-04-23
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/18
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/21 , H01J37/22 , H01J2237/1825 , H01J2237/26 , H01J2237/30
Abstract: 本发明提供带电粒子线装置的真空排气结构具备：设置有带电粒子源的真空室；与真空室连接的真空配管；经由真空配管而连接，并对真空室内进行排气的主真空泵；设置于真空配管的真空室与主真空泵之间的位置的非蒸发吸气泵；以及连接于真空配管的真空室与非蒸发吸气泵之间的位置连接的粗排气口。粗排气口具备用于打开关闭粗排气口的粗排气用阀和用于将真空室进行大气开放的漏泄阀。
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公开(公告)号：CN112189248B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN201880093567.4
申请日：2018-05-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/15 , H01J37/12 , H01J37/141 , H01J37/147
Abstract: 本发明实现一种带电粒子束装置，通过使基于减速电场的静电透镜的轴与磁场透镜的轴一致，使作为重叠透镜的轴调整容易。带电粒子束装置具有：电子源(2)；使来自电子源的探测电子束聚焦于试样的物镜(4)；使探测电子束穿过的第一束射管(8)及第二束射管(9)；配置于第一束射管(8)与试样(12)之间的减速电极(10)；通过对第一束射管(8)施加第一电位，在第一束射管(8)与减速电极(10)之间形成针对探测电子束的减速电场的第一电压源(15)；以及使第一束射管(8)的位置移动的移动机构(11)。
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公开(公告)号：CN110168696B
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201780082429.1
申请日：2017-05-12
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种照射带电粒子束来观察试样的测量装置，其特征在于，包括：输出带电粒子束的粒子源；使带电粒子束聚焦的透镜；对从照射了带电粒子束的试样发射的发射电子的信号进行检测的检测器；和基于观测条件对带电粒子束的输出和发射电子的信号的检测进行控制的控制装置，作为所述观测条件，控制装置设定用于控制带电粒子束的照射周期的第1参数、用于控制脉冲状的带电粒子束的脉冲宽度的第2参数、用于在脉冲状的带电粒子束的照射时间内控制发射电子的信号的检测时刻的第3参数，第3参数是基于从带电粒子束的照射位置发射的多个发射电子的信号各自的强度之差而决定的。
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