公开(公告)号：CN105190824B

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201480023861.X

申请日：2014-04-23

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 高鉾良浩 ,  小林大佑 ,  木村政司 ,  笹岛正弘

IPC: H01J37/18

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/21 ,  H01J37/22 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/30

Abstract: 本发明提供带电粒子线装置的真空排气结构具备：设置有带电粒子源的真空室；与真空室连接的真空配管；经由真空配管而连接，并对真空室内进行排气的主真空泵；设置于真空配管的真空室与主真空泵之间的位置的非蒸发吸气泵；以及连接于真空配管的真空室与非蒸发吸气泵之间的位置连接的粗排气口。粗排气口具备用于打开关闭粗排气口的粗排气用阀和用于将真空室进行大气开放的漏泄阀。

公开(公告)号：CN105190824A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201480023861.X

申请日：2014-04-23

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 高鉾良浩 ,  小林大佑 ,  木村政司 ,  笹岛正弘

IPC: H01J37/18

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/21 ,  H01J37/22 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/30

Abstract: 本发明提供带电粒子线装置的真空排气结构具备：设置有带电粒子源的真空室；与真空室连接的真空配管；经由真空配管而连接，并对真空室内进行排气的主真空泵；设置于真空配管的真空室与主真空泵之间的位置的非蒸发吸气泵；以及连接于真空配管的真空室与非蒸发吸气泵之间的位置连接的粗排气口。粗排气口具备用于打开关闭粗排气口的粗排气用阀和用于将真空室进行大气开放的漏泄阀。