公开(公告)号：CN111344831A

公开(公告)日：2020-06-26

申请号：CN201780096823.0

申请日：2017-11-27

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 高口桂 ,  津野夏规 ,  笹岛正弘 ,  扬村寿英

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/22

Abstract: 有：电磁波产生源(16)，产生供照射到试样的电磁波；带电粒子光学系统，包含脉冲化机构(3)，供汇集带电粒子束而照射到试样；检测器(10)，检测由于带电粒子束和试样的相互作用而被放出的放出电子；第1照射控制部(15)，控制电磁波产生源，使脉冲电磁波照射到试样生成激发载流子；第2照射控制部(14)，控制脉冲化机构，将脉冲带电粒子束照射到试样的电磁波照射区域；及定时控制部(13)，定时控制部将基于检测器的放出电子的检测与脉冲带电粒子束的照射同步进行，控制第1照射控制部和第2照射控制部，控制对电磁波照射区域的脉冲电磁波和脉冲带电粒子束的间隔时间。由此，能基于放出电子量的过渡变化，以纳米空间分辨率检测试样信息。

公开(公告)号：CN111344831B

公开(公告)日：2023-03-24

申请号：CN201780096823.0

申请日：2017-11-27

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 高口桂 ,  津野夏规 ,  笹岛正弘 ,  扬村寿英

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/22

Abstract: 有：电磁波产生源(16)，产生供照射到试样的电磁波；带电粒子光学系统，包含脉冲化机构(3)，供汇集带电粒子束而照射到试样；检测器(10)，检测由于带电粒子束和试样的相互作用而被放出的放出电子；第1照射控制部(15)，控制电磁波产生源，使脉冲电磁波照射到试样生成激发载流子；第2照射控制部(14)，控制脉冲化机构，将脉冲带电粒子束照射到试样的电磁波照射区域；及定时控制部(13)，定时控制部将基于检测器的放出电子的检测与脉冲带电粒子束的照射同步进行，控制第1照射控制部和第2照射控制部，控制对电磁波照射区域的脉冲电磁波和脉冲带电粒子束的间隔时间。由此，能基于放出电子量的过渡变化，以纳米空间分辨率检测试样信息。