公开(公告)号：CN111492457A

公开(公告)日：2020-08-04

申请号：CN201780097868.X

申请日：2017-12-21

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 神波弘树 ,  板桥洋宪 ,  藤村一郎

IPC: H01J37/22

Abstract: 为了在计算帧累积图像之前将试样表面的带电量控制为所希望的值，本发明具备：带电粒子束源(103)，向试样照射带电粒子束；偏转器(111)，在上述试样的观察区域扫描上述带电粒子束；检测器(112)，检测通过上述带电粒子束的扫描从上述试样释放的带电粒子；图像生成部(102)，基于从上述检测器输出的观测信号生成上述观察区域的帧图像；以及扫描暂停时间设定部(608)，设定扫描暂停时间，该扫描暂停时间是在生成帧图像后使上述观察区域中的上述带电粒子束的扫描暂停的时间，上述图像生成部通过对间隔上述扫描暂停时间生成的帧图像进行累积来计算帧累积图像。

公开(公告)号：CN111492457B

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN201780097868.X

申请日：2017-12-21

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 神波弘树 ,  板桥洋宪 ,  藤村一郎

IPC: H01J37/22

Abstract: 为了在计算帧累积图像之前将试样表面的带电量控制为所希望的值，本发明具备：带电粒子束源(103)，向试样照射带电粒子束；偏转器(111)，在上述试样的观察区域扫描上述带电粒子束；检测器(112)，检测通过上述带电粒子束的扫描从上述试样释放的带电粒子；图像生成部(102)，基于从上述检测器输出的观测信号生成上述观察区域的帧图像；以及扫描暂停时间设定部(608)，设定扫描暂停时间，该扫描暂停时间是在生成帧图像后使上述观察区域中的上述带电粒子束的扫描暂停的时间，上述图像生成部通过对间隔上述扫描暂停时间生成的帧图像进行累积来计算帧累积图像。

公开(公告)号：CN109314030B

公开(公告)日：2020-08-14

申请号：CN201680086434.5

申请日：2016-06-23

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 中村光宏 ,  板桥洋宪 ,  佐藤博文 ,  斋藤勉 ,  笹岛正弘 ,  津野夏规 ,  中村洋平

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/075 ,  H01J37/252

Abstract: 为了提供即使相对于高真空环境下的非导电性试料也能检测稳定的二次粒子(23)、电磁波(24)并能进行良好的观察、分析的带电粒子线装置，使带电粒子线装置具有：带电粒子枪(12)；使带电粒子线(20)在试料(21)上进行扫描的扫描偏转器(17、18)；检测从外部向扫描偏转器输入的扫描控制电压的检测部(40、41)；基于检测到的扫描控制电压来计算带电粒子线(20)的照射像素坐标的运算部(42)；以及根据照射像素坐标控制向试料(21)的带电粒子线(20)的照射的照射控制部(45)。

公开(公告)号：CN109314030A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201680086434.5

申请日：2016-06-23

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 中村光宏 ,  板桥洋宪 ,  佐藤博文 ,  斋藤勉 ,  笹岛正弘 ,  津野夏规 ,  中村洋平

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/075 ,  H01J37/252

Abstract: 为了提供即使相对于高真空环境下的非导电性试料也能检测稳定的二次粒子(23)、电磁波(24)并能进行良好的观察、分析的带电粒子线装置，使带电粒子线装置具有：带电粒子枪(12)；使带电粒子线(20)在试料(21)上进行扫描的扫描偏转器(17、18)；检测从外部向扫描偏转器输入的扫描控制电压的检测部(40、41)；基于检测到的扫描控制电压来计算带电粒子线(20)的照射像素坐标的运算部(42)；以及根据照射像素坐标控制向试料(21)的带电粒子线(20)的照射的照射控制部(45)。