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公开(公告)号：CN110770875B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN201780089056.0
申请日：2017-04-21
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明的电荷粒子线装置对操作者的观察条件设定进行辅助，使得能够不局限于基于操作者的经验的试错地，通过电荷粒子线装置获取希望的画质(对比度等)的图像。为此，是一种电荷粒子线装置，其具备：试料(115)台，其载置试料；电荷粒子光学系统，其向试料照射电荷粒子束；检测器(121、122)，其检测由于电荷粒子束与试料的相互作用而产生的电子；控制部(103)，其根据由操作者设定的观察条件控制试料台和电荷粒子光学系统，根据来自检测器的检测信号形成图像；显示器(104)，其显示用于设定观察条件的观察辅助画面，其中，控制部将与在观察条件下通过电荷粒子光学系统照射到试料的每个像素的照射电子量有关的信息(510)显示到观察辅助画面(401)。
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公开(公告)号：CN110770875A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201780089056.0
申请日：2017-04-21
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明的电荷粒子线装置对操作者的观察条件设定进行辅助，使得能够不局限于基于操作者的经验的试错地，通过电荷粒子线装置获取希望的画质(对比度等)的图像。为此，是一种电荷粒子线装置，其具备：试料(115)台，其载置试料；电荷粒子光学系统，其向试料照射电荷粒子束；检测器(121、122)，其检测由于电荷粒子束与试料的相互作用而产生的电子；控制部(103)，其根据由操作者设定的观察条件控制试料台和电荷粒子光学系统，根据来自检测器的检测信号形成图像；显示器(104)，其显示用于设定观察条件的观察辅助画面，其中，控制部将与在观察条件下通过电荷粒子光学系统照射到试料的每个像素的照射电子量有关的信息(510)显示到观察辅助画面(401)。
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公开(公告)号：CN114709120A
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202210355239.5
申请日：2017-04-21
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法，对操作者的观察条件设定进行辅助，使得能够不局限于基于操作者的经验的试错地，通过电荷粒子线装置获取希望的画质的图像。电荷粒子线装置具备：试料台，其载置试料；电荷粒子光学系统，其向试料照射电荷粒子束；检测器，其检测由于电荷粒子束与试料的相互作用而产生的电子；控制部，其根据由操作者设定的观察条件控制试料台和电荷粒子光学系统，根据来自检测器的检测信号形成图像；显示器，其显示用于设定观察条件的观察辅助画面，其中，控制部将与在观察条件下通过电荷粒子光学系统照射到试料的每个像素的照射电子量有关的信息显示到观察辅助画面。
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