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发明公开
试样支架、膜间距离调整机构以及带电粒子束装置审中-实审

公开(公告)号：CN114556514A

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN201980101094.2

申请日：2019-10-10

Applicant: 株式会社日立高新技术 , 国立研究开发法人产业技术综合研究所

Inventor： 波田野道夫 , 中村光宏 , 小椋俊彦

IPC: H01J37/20

Abstract: 本发明可靠地利用试样支架对液体状或凝胶状的试样进行保持，提高利用带电粒子束装置进行观察的合格率。试样支架(101)具有：第一部件(102)，其具有盖部件(111)和具备形成有包括第一绝缘性薄膜(104)在内的层叠膜的第一窗口(123)的第一芯片(105)；以及第二部件(103)，其具有形成有第一底部密封面(203)及第二底部密封面(200)的母材(127)、配置于母材的电极(108)以及第二芯片(107)，该第二芯片(107)具备形成有第二绝缘性薄膜(106)的第二窗口(124)，且以使第二窗口与电极对置的方式经由第二密封件(119)保持在第二底部密封面上，第一部件与第二部件组合，第一密封件在第一底部密封面以及盖部件的上部密封面之间被压扁，由此比第一密封件靠内部的区域相对于第一密封件的外部的区域保持为气密。

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