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公开(公告)号：CN107123584A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201710041635.X
申请日：2017-01-20
申请人： FEI 公司
CPC分类号： H01J37/045 , H01J37/147 , H01J37/1474 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0432 , H01J2237/0435 , H01J2237/1504 , H01J2237/2446 , H01J2237/24495 , H01J2237/24585 , H01J2237/2802 , H01J37/261 , H01J37/265 , H01J37/266
摘要： 一种使用带电粒子显微镜的方法，包括：—样本保持器，其用于保持样本；—源，其用于产生带电粒子的照射射束；—照明器，其用于引导所述射束从而照射样本；—检测器，其用于响应于所述照射而检测从样本放射的出射辐射通量，另外包括以下步骤：—在所述照明器中，提供包括孔径阵列的孔径板；—使用偏转装置来跨所述阵列扫描所述射束，从而交替地使射束中断和透射以便产生一串射束脉冲；—用所述脉冲串照射所述样本，并且使用所述检测器来执行伴随的出射辐射的位置分辨（时间辨别）检测。
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公开(公告)号：CN101636811A
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200780049064.9
申请日：2007-12-20
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/248 , H01J37/302
CPC分类号： H01J37/248 , H01J37/045 , H01J37/3023 , H01J37/3171 , H01J2237/0206 , H01J2237/0213 , H01J2237/0432 , H01J2237/08
摘要： 本发明公开一种射束控制电路和方法，通过减小离子束的工作因数以最小化离子植入系统内颗粒污染。在一个实施例中，射束控制电路包括与电源及离子植入系统的离子源部分相串联的高压开关，其中，开关可被操作以中断或重新建立电源与离子源的电极之间的连接，电极包括用于产生等离子体的电极。射束控制电路还包括开关控制器，其可操作地通过控制开关在离子植入开始之前闭合并且控制开关在植入完成之后或在不需要射束的其它时间断开，以控制离子束的工作因数，从而最小化射束工作因数和颗粒污染。射束控制技术可被应用于晶片掺杂植入和减小工作因数。用于高压开关的保护电路吸收来自电抗元件的能量并且钳止任何过电压。
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公开(公告)号：CN101636811B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200780049064.9
申请日：2007-12-20
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/248 , H01J37/302
CPC分类号： H01J37/248 , H01J37/045 , H01J37/3023 , H01J37/3171 , H01J2237/0206 , H01J2237/0213 , H01J2237/0432 , H01J2237/08
摘要： 本发明公开一种射束控制电路和方法，通过减小离子束的工作因数以最小化离子植入系统内颗粒污染。在一个实施例中，射束控制电路包括与电源及离子植入系统的离子源部分相串联的高压开关，其中，开关可被操作以中断或重新建立电源与离子源的电极之间的连接，电极包括用于产生等离子体的电极。射束控制电路还包括开关控制器，其可操作地通过控制开关在离子植入开始之前闭合并且控制开关在植入完成之后或在不需要射束的其它时间断开，以控制离子束的工作因数，从而最小化射束工作因数和颗粒污染。射束控制技术可被应用于晶片掺杂植入和减小工作因数。用于高压开关的保护电路吸收来自电抗元件的能量并且钳止任何过电压。
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公开(公告)号：CN1717631A
公开(公告)日：2006-01-04
申请号：CN200380104096.6
申请日：2003-10-24
申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司
发明人： 马尔科·扬-哈科·威兰 , 约翰尼斯·克里斯蒂安·万特斯皮扎科 , 雷梅科·扎格 , 彼得·克瑞特
IPC分类号： G03F7/20 , H01J37/317
CPC分类号： G03F7/70383 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03B27/52 , G03F7/70291 , G03F7/70508 , G03F7/70825 , G03F7/70991 , H01J37/045 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/0432 , H01J2237/0435 , H01J2237/0437 , H01J2237/2482
摘要： 本发明涉及一种用于将图形转移到目标的表面上的无掩模光刻系统，包括产生多个小射束的至少一个束发生器、包括调制小射束的幅值的多个调制器的调制装置和控制每个调制器的控制单元，其中控制单元产生图形数据并将其传送给所说的调制装置以控制每个单个小射束的幅值，该控制单元包括存储图形数据的至少一个数据存储装置、从数据存储装置读出图形数据的至少一个读出单元、将从数据存储装置中读出的图形数据转换为至少一个调制的光束的至少一个数据转换器和将所说的至少一个调制的光束发送给所说的调制装置的至少一个光发送器。
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公开(公告)号：CN108122725A
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：CN201711144530.3
申请日：2017-11-17
发明人： E.R.基伊夫特
IPC分类号： H01J37/26 , G01N23/2202
CPC分类号： H01J37/045 , H01J37/147 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0432 , H01J2237/152 , H01J2237/2802 , H01J37/26 , G01N23/2202
摘要： 一种使用带电粒子显微术来研究样本的方法，该方法包括以下步骤：-使用主源来产生沿着射束路径传播的带电粒子脉冲射束；-在所述射束路径中的照射位置处提供样本；-使用次源来产生样本的重复激励；-使用检测器来登记在每次所述激励之后穿过样本的所述射束中的带电粒子，其中：-所述主源被配置成由所述次源的每个激励产生一串多个脉冲；-所述检测器被配置成包括像素的集成阵列，所述像素每一个都具有单独的读出电路，以登记所述串中的单独粒子的到达时间。
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公开(公告)号：CN101248505B
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN200680030708.5
申请日：2006-07-10
申请人： 耐克斯金思美控股公司
发明人： 迈克尔·约翰·桑尼 , 杰弗里·温菲尔德·斯科特 , 马克·焦瑟菲·本纳米亚斯 , 马克·安东尼·麦瑟
IPC分类号： H01J37/302
CPC分类号： H01J37/3056 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/045 , H01J37/3007 , H01J37/304 , H01J37/3172 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/0432 , H01J2237/047 , H01J2237/30472 , H01J2237/31713 , H01J2237/31732 , H01J2237/31735 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749 , H01J2237/3175 , H01J2237/31766 , H01L21/265 , H01L21/26513 , H01L21/76267 , H01L21/84 , H01L27/0629 , H01L29/66462 , H01L29/66659 , Y10T428/24802 , Y10T428/24893
摘要： 一种用于用带电粒子对工件进行曝光的室包括：带电粒子源，用于生成带电粒子流；准直器，配置用于沿着轴线准直和引导来自带电粒子源的带电粒子流；位于准直器下游的束数字化装置，配置用于通过调整沿着所述轴线的带电粒子之间的纵向间距，形成包括至少一个带电粒子的组的数字化束；位于所述束数字化装置下游的偏转反射器，所述偏转反射器包括一系列的沿着所述轴线纵向设置的偏转电极台，以偏转所述数字化束；以及位于偏转反射器的下游的工件台，所述工件台配置用于保持工件。
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公开(公告)号：CN100524026C
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200380104096.6
申请日：2003-10-24
申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司
发明人： 马尔科·扬-哈科·威兰 , 约翰尼斯·克里斯蒂安·万特斯皮扎科 , 雷梅科·扎格 , 彼得·克瑞特
IPC分类号： G03F7/20 , H01J37/317
CPC分类号： G03F7/70383 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03B27/52 , G03F7/70291 , G03F7/70508 , G03F7/70825 , G03F7/70991 , H01J37/045 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/0432 , H01J2237/0435 , H01J2237/0437 , H01J2237/2482
摘要： 本发明涉及一种用于将图形转移到目标的表面上的无掩模光刻系统，包括产生多个小射束的至少一个束发生器、包括调制小射束的幅值的多个调制器的调制装置和控制每个调制器的控制单元，其中控制单元产生图形数据并将其传送给所说的调制装置以控制每个单个小射束的幅值，该控制单元包括存储图形数据的至少一个数据存储装置、从数据存储装置读出图形数据的至少一个读出单元、将从数据存储装置中读出的图形数据转换为至少一个调制的光束的至少一个数据转换器和将所说的至少一个调制的光束发送给所说的调制装置的至少一个光发送器。
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公开(公告)号：CN101248505A
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200680030708.5
申请日：2006-07-10
申请人： 耐克斯金思美控股公司
发明人： 迈克尔·约翰·桑尼 , 杰弗里·温菲尔德·斯科特 , 马克·焦瑟菲·本纳米亚斯 , 马克·安东尼·麦瑟
IPC分类号： H01J37/302
CPC分类号： H01J37/3056 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/045 , H01J37/3007 , H01J37/304 , H01J37/3172 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/0432 , H01J2237/047 , H01J2237/30472 , H01J2237/31713 , H01J2237/31732 , H01J2237/31735 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749 , H01J2237/3175 , H01J2237/31766 , H01L21/265 , H01L21/26513 , H01L21/76267 , H01L21/84 , H01L27/0629 , H01L29/66462 , H01L29/66659 , Y10T428/24802 , Y10T428/24893
摘要： 一种用于用带电粒子对工件进行曝光的室包括：带电粒子源，用于生成带电粒子流；准直器，配置用于沿着轴线准直和引导来自带电粒子源的带电粒子流；位于准直器下游的束数字化装置，配置用于通过调整沿着所述轴线的带电粒子之间的纵向间距，形成包括至少一个带电粒子的组的数字化束；位于所述束数字化装置下游的偏转反射器，所述偏转反射器包括一系列的沿着所述轴线纵向设置的偏转电极台，以偏转所述数字化束；以及位于偏转反射器的下游的工件台，所述工件台配置用于保持工件。
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