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公开(公告)号：CN108344381B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201810134143.X
申请日：2018-02-09
Applicant: 苏州大学 , 苏州斑马光学技术有限公司
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种非接触式三维面形测量方法，属于光学检测技术领域，具体涉及一种非接触式检测方法，解决现有非接触测量需将被测点法线方向对准探头从而导致定位精度降低的问题；在泰曼—格林干涉光路基础上引入球壳透镜成功搭建出干涉式光学探头，测量时，通过调整光学探头聚焦在被测件上某一点，测量光束被球壳透镜内表面反射回到光学系统中，测量光束经分束器反射进入CCD图像传感器上与参考光束形成干涉条纹，由位置计量装置记录此时运动机构的位置信息；调整运动机构依次记录聚焦透镜的像方焦点聚焦在被测件上其他点的位置信息，通过数据处理可以获得被测件的面形形貌；简化了运动机构，减小了机械定位误差，可测量高陡度元件。
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公开(公告)号：CN108344381A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201810134143.X
申请日：2018-02-09
Applicant: 苏州大学 , 苏州斑马光学技术有限公司
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明公开了一种非接触式三维面形测量方法，属于光学检测技术领域，具体涉及一种非接触式检测方法，解决现有非接触测量需将被测点法线方向对准探头从而导致定位精度降低的问题；在泰曼—格林干涉光路基础上引入球壳透镜成功搭建出干涉式光学探头，测量时，通过调整光学探头聚焦在被测件上某一点，测量光束被球壳透镜内表面反射回到光学系统中，测量光束经分束器反射进入CCD图像传感器上与参考光束形成干涉条纹，由位置计量装置记录此时运动机构的位置信息；调整运动机构依次记录聚焦透镜的像方焦点聚焦在被测件上其他点的位置信息，通过数据处理可以获得被测件的面形形貌；简化了运动机构，减小了机械定位误差，可测量高陡度元件。
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公开(公告)号：CN108344383B
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN201810135836.0
申请日：2018-02-09
Applicant: 苏州大学 , 苏州斑马光学技术有限公司
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种非接触式坐标测量机，解决使用现有非接触坐标测量机测量时需将被测点法线方向对准探头从而导致定位精度降低的问题；在泰曼—格林干涉光路基础上引入球壳透镜成功搭建出干涉式光学探头，测量时，通过调整光学探头聚焦在被测件上某一点，测量光束被球壳透镜内表面反射回到光学系统中，测量光束经分束器反射进入CCD图像传感器上与参考光束形成干涉条纹，由位置计量装置记录此时三维运动机构的位置信息；调整三维运动机构依次记录聚焦透镜的像方焦点聚焦在被测件上其他点的位置信息，通过数据处理可以获得被测件的面形形貌；简化了三维运动机构，减小了机械定位误差，可测量高陡度元件。
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公开(公告)号：CN108344383A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201810135836.0
申请日：2018-02-09
Applicant: 苏州大学 , 苏州斑马光学技术有限公司
IPC: G01B11/25
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种非接触式坐标测量机，解决使用现有非接触坐标测量机测量时需将被测点法线方向对准探头从而导致定位精度降低的问题；在泰曼—格林干涉光路基础上引入球壳透镜成功搭建出干涉式光学探头，测量时，通过调整光学探头聚焦在被测件上某一点，测量光束被球壳透镜内表面反射回到光学系统中，测量光束经分束器反射进入CCD图像传感器上与参考光束形成干涉条纹，由位置计量装置记录此时三维运动机构的位置信息；调整三维运动机构依次记录聚焦透镜的像方焦点聚焦在被测件上其他点的位置信息，通过数据处理可以获得被测件的面形形貌；简化了三维运动机构，减小了机械定位误差，可测量高陡度元件。
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公开(公告)号：CN108332683B
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN201810134144.4
申请日：2018-02-09
Applicant: 苏州大学 , 苏州斑马光学技术有限公司
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种用于三维面形测量的干涉式光学探头，属于光学检测技术领域，具体涉及一种非接触式光学探头，解决使用现有非接触探头测量时需将被测点法线方向对准探头从而导致定位精度降低的问题；在泰曼—格林干涉光路基础上引入球壳透镜成功搭建出干涉式光学探头，测量时，通过调整光学探头聚焦在被测件上某一点，测量光束被球壳透镜内表面反射回到光学系统中，测量光束经分束器反射进入CCD图像传感器上与参考光束形成干涉条纹，由位置计量装置记录此时运动机构的位置信息；调整运动机构依次记录聚焦透镜的像方焦点聚焦在被测件上其他点的位置信息，通过数据处理可以获得被测件的面形形貌；简化了运动机构，减小了机械定位误差，可测量高陡度元件。
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公开(公告)号：CN108332683A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810134144.4
申请日：2018-02-09
Applicant: 苏州大学 , 苏州斑马光学技术有限公司
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明公开了一种用于三维面形测量的干涉式光学探头，属于光学检测技术领域，具体涉及一种非接触式光学探头，解决使用现有非接触探头测量时需将被测点法线方向对准探头从而导致定位精度降低的问题；在泰曼—格林干涉光路基础上引入球壳透镜成功搭建出干涉式光学探头，测量时，通过调整光学探头聚焦在被测件上某一点，测量光束被球壳透镜内表面反射回到光学系统中，测量光束经分束器反射进入CCD图像传感器上与参考光束形成干涉条纹，由位置计量装置记录此时运动机构的位置信息；调整运动机构依次记录聚焦透镜的像方焦点聚焦在被测件上其他点的位置信息，通过数据处理可以获得被测件的面形形貌；简化了运动机构，减小了机械定位误差，可测量高陡度元件。
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公开(公告)号：CN208223415U
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201820234830.4
申请日：2018-02-09
Applicant: 苏州大学 , 苏州斑马光学技术有限公司
IPC: G01B11/24
Abstract: 本实用新型公开了一种非接触式三维面形轮廓仪，解决使用现有非接触坐标测量机测量时需将被测点法线方向对准探头从而导致定位精度降低的问题；在泰曼—格林干涉光路基础上引入球壳透镜成功搭建出干涉式光学探头，测量时，通过调整光学探头聚焦在被测件上某一点，测量光束被球壳透镜内表面反射回到光学系统中，测量光束经分束器反射进入CCD图像传感器上与参考光束形成干涉条纹，由位置计量装置记录此时三维运动机构的位置信息；调整三维运动机构依次记录聚焦透镜的像方焦点聚焦在被测件上其他点的位置信息，通过数据处理可以获得被测件的面形形貌；简化了三维运动机构，减小了机械定位误差，可测量高陡度元件。
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公开(公告)号：CN207816197U
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201820235574.0
申请日：2018-02-09
Applicant: 苏州大学 , 苏州斑马光学技术有限公司
IPC: G01B11/03
Abstract: 本新型公开了一种用于非接触式面形测量的光学探头，属于光学检测技术领域，具体涉及一种非接触式光学探头，解决使用现有非接触探头测量时需将被测点法线方向对准探头从而导致定位精度降低的问题；在泰曼—格林干涉光路基础上引入球壳透镜成功搭建出干涉式光学探头，测量时，通过调整光学探头聚焦在被测件上某一点，测量光束被球壳透镜内表面反射回到光学系统中，测量光束经分束器反射进入CCD图像传感器上与参考光束形成干涉条纹，由位置计量装置记录此时运动机构的位置信息；调整运动机构依次记录聚焦透镜的像方焦点聚焦在被测件上其他点的位置信息，通过数据处理可以获得被测件的面形形貌；简化了运动机构，减小了机械定位误差，可测量高陡度元件。
