248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜

    公开(公告)号:CN104865689A

    公开(公告)日:2015-08-26

    申请号:CN201510159373.8

    申请日:2015-04-07

    CPC classification number: G02B21/08

    Abstract: 一种248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜,包括设在同一光轴的前部中继镜组及后部成像镜组,该前部中继镜组由前后依次设置的第一至第三透镜组成;该后部成像镜组由前后依次设置的第四至第十二透镜组成,其中第十二透镜为平行平板镜片,在透射深紫外光线的同时用于支撑被测样品;该两个镜组安装在恒温密封套筒内,每一透镜安装在对应的透镜框内。本发明采用高数值孔径的科勒式照明设计,具有亮度均匀、不引入光源伪像、优化像差、抑制杂散光的优点,高数值孔径保证了很高的分辨力。实验证明紫外显微镜下本装置能对100nm线宽产生清晰轮廓像,适用于集成电路光刻掩模版、纳米几何结构栅格和MEMS/NEMS器件关键尺寸的检测照明。

    一种新型显微镜的聚光镜

    公开(公告)号:CN104808328A

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201510275307.7

    申请日:2015-05-27

    Inventor: 许应龙

    CPC classification number: G02B21/08

    Abstract: 本发明公开了一种新型显微镜的聚光镜,主体为凸面镜,所述聚光透镜整体为凸圆体,中心部位设有局部磨砂层,所述局部磨砂层呈圆饼形,并由所述聚光透镜的中心部分向周围延伸;本发明的优点为:本发明所述的一种新型显微镜的聚光镜,具有结构简单,加工方便,成本低、实用效果较强,所述磨砂层可以挡住一部分光源,使得看的更加清楚,且可以拆卸,方便更换不同类型的磨砂层,满足不同需求。

    光学设备、位置检测设备、显微镜设备以及曝光设备

    公开(公告)号:CN103091840A

    公开(公告)日:2013-05-08

    申请号:CN201210405108.X

    申请日:2012-10-23

    Inventor: 山口渉 稻秀树

    CPC classification number: G03F9/7069 G02B21/08 H01J37/09 H01J37/22 H01J37/26

    Abstract: 本发明提供了光学设备、位置检测设备、显微镜设备以及曝光设备。该光学设备包括:孔径光阑,包括第一孔和第二孔并且被固定在照明光学系统的光瞳面上,第一孔被配置为将用于照射照明表面的照明条件限定为第一条件,第二孔被配置为将照明条件限定为第二条件;遮光板;以及驱动单元,被配置为在将照明条件设定为第一条件时定位遮光板以使得遮光区域遮蔽从光源通过第二孔延伸到照明表面的第二路径,以及在将照明条件设定为第二条件时定位遮光板以使得遮光区域遮蔽从光源通过第一孔延伸到照明表面的第一路径。

    图像测量设备
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101542352A

    公开(公告)日:2009-09-23

    申请号:CN200780043238.0

    申请日:2007-11-02

    Inventor: 持田大作

    Abstract: 一种满足下面的表达式(1)的蝇眼积分器被用于照明系统:Φ×φ/f>M×DL×NAL(1)。其中,Φ是与蝇眼积分器的出射端面内接的圆的直径;φ是与构成蝇眼积分器的每个透镜元件的端面内接的圆的直径;f是构成蝇眼积分器的每个透镜元件的焦距;M是成像光学系统的变焦变倍比,DL是对于成像光学系统变焦低倍侧所需要的视场直径,以及NAL是对于成像光学系统变焦低倍侧必要的数值孔径。因此,可以提供图像测量设备,其可以防止从低变倍到高变倍的不足的NA和视场的不均匀。

    一种在物镜视场内任意移动细胞的环形光镊及实现方法

    公开(公告)号:CN107422468A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201710705860.9

    申请日:2017-08-17

    Applicant: 鲁东大学

    CPC classification number: G02B21/32 G02B21/08 G02B21/365 G21K1/06

    Abstract: 本发明公开了一种在显微物镜视场内任意移动细胞的环形光镊以及实现方法,通过第一计算机上加载事先利用傅里叶变换相移定理分区调制的相位图到空间光调制器,将相位调制后的线偏振光通过4F成像系统成像到聚焦物镜的后孔径平面;物镜对相位调制的入射线偏振激光光束聚焦,在焦平面区域产生直径从几百纳米到几微米,可以精确调节的环形光斑。当空间光调制器连续加载多幅不同的相位调制图时,每幅对应的环形光斑位置移动变化很小,使得环形光斑产生近似连续的移动。当位于物镜焦平面的载物台上放置细胞样品池时,本发明可以实现环形激光光斑捕获不同尺寸的低折射率微粒,例如细胞,并按事先设计的任意路径移动细胞。

    一种手术显微镜的光学系统

    公开(公告)号:CN107132647A

    公开(公告)日:2017-09-05

    申请号:CN201710501803.9

    申请日:2017-06-27

    Inventor: 朱文昱 赵兵

    CPC classification number: G02B21/0012 G02B21/025 G02B21/06 G02B21/08

    Abstract: 一种手术显微镜的光学系统,它包括光源、照明光学系统和显微光学系统;所述光源发出的光经由照明光学系统到达工作区,提供工作区的照明,所述显微光学系统通过多组光学元件来对被观察物进行放大,它包括有大物镜组和变倍镜组。本发明的手术显微镜的光学系统是在现有技术中的续变倍体视显微镜主体系统的物镜和补偿镜的光路前设有一个由两组透镜组合的大物镜,扩大附加大物镜的数值孔径,确定入瞳位置,把附加大物镜和显微镜的两支变倍物镜形成一个共轴系统。

    一种用于ICF的掠入射KBA显微镜系统

    公开(公告)号:CN106291898A

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201610739903.0

    申请日:2016-08-26

    Applicant: 鲁东大学

    CPC classification number: G02B21/04 G02B21/08

    Abstract: 本发明公开了一种用于ICF的掠入射KBA显微镜系统,包括He-Ne激光器、组合镜、主镜、靶球和靶室,主镜安装在靶室内,组合镜包括两个聚光镜、两个反射镜、分光镜、和对准物镜,两个聚光镜设置在光纤和靶球,其中一个反射镜靠近一个聚光镜设置,分光镜设置在反射镜的下方,He-Ne激光器设置在分光镜的前侧,反射镜设置在分光镜的下方,对准物镜设置在靶球的后侧,对准物镜的两侧分别设置有保护玻璃。本发明采用四块互相垂直的球面反射镜,可以减少彗差,减少视场倾斜,加工成本低、装调简单、实验时间短、不引入额外误差。

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