半导体装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN104051401B

    公开(公告)日:2018-09-11

    申请号:CN201410095780.2

    申请日:2014-03-14

    摘要: 本发明涉及半导体装置及其制造方法。本发明的解决的一个问题是提高半导体装置的可靠性。具有:管芯焊盘(6)、搭载于管芯焊盘(6)的SiC芯片(1)、对管芯焊盘(6)和SiC芯片(1)进行接合的多孔质的第1烧结Ag层(16)、以及覆盖第1烧结Ag层(16)的表面并且被形成为圆角状的加强树脂部(17)。进而,具有与SiC芯片(1)的源电极(2)电连接的源极引线(9)、与栅电极(3)电连接的栅极引线、与漏电极(4)电连接的漏极引线、以及覆盖SiC芯片(1)、第1烧结Ag层(16)及管芯焊盘(6)的一部分的密封体(14),加强树脂部(17)覆盖SiC芯片(1)的侧面(1c)的一部分。

    半导体装置
    6.
    发明公开
    半导体装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN112768414A

    公开(公告)日:2021-05-07

    申请号:CN202011126718.7

    申请日:2020-10-20

    摘要: 本公开的各实施例涉及半导体装置。一种半导体装置包括:半导体芯片,该半导体芯片包括用于进行开关的场效应晶体管;裸片焊盘,半导体芯片经由第一键合材料被安装在该裸片焊盘上;引线,该引线通过金属板电连接到用于半导体芯片的源极的焊盘;引线耦合部,与引线一体地形成;以及用于密封它们的密封部。用于半导体芯片的漏极的背表面电极与裸片焊盘经由第一键合材料键合,金属板与用于半导体芯片的源极的焊盘经由第二键合材料键合,并且金属板与所引线耦合部经由第三键合材料键合。第一键合材料、第二键合材料和第三键合材料具有导电性,并且第一键合材料和第二键合材料中的每一项的弹性模量低于第三键合材料的弹性模量。