图案化磁记录介质及其制造方法

    公开(公告)号:CN101515459A

    公开(公告)日:2009-08-26

    申请号:CN200910007634.9

    申请日:2009-02-16

    Inventor: 堀口道子

    CPC classification number: G11B5/82 B82Y10/00 G11B5/743 G11B5/8408 G11B5/855

    Abstract: 本发明提供具备具有划分信息记录区域的凹凸图案的磁性层、耐腐蚀性优异的第一保护层和磁头滑动性优异的第二保护层的图案化磁记录介质及其制造方法。其包括具有划分信息记录区域的道状和/或点状的凹凸图案的磁性层、覆盖该磁性层的第一保护层和形成在该第一保护层的凸部图案顶部上的第二保护层,该第二保护层由利用FCA法或FCVA法形成的四面体碳(ta-C)膜构成。其制造方法包括在底层或磁性层上利用纳米压印法形成光固化性抗蚀剂的蚀刻图案、蚀刻底层或磁性层形成凹凸图案的工序;在磁性层的凹凸图案上利用等离子体CVD法形成第一保护层的工序;和在该第一保护层的凹凸图案的至少顶部利用FCA法或FCVA法形成由四面体碳(ta-C)膜构成的第二保护层的工序。

    图案化介质型磁记录介质的制造方法

    公开(公告)号:CN101483046A

    公开(公告)日:2009-07-15

    申请号:CN200910000287.7

    申请日:2009-01-09

    Inventor: 谷口克己

    CPC classification number: G11B5/855

    Abstract: 本发明目的在于提供一种在形成中间层的凹凸图案时的干式蚀刻工艺中,能够以高精度仅对必要部位进行加工的图案化介质型磁记录介质的制造方法。其包括在基板上依次形成软磁层、蚀刻阻挡层、种子层、中间层、硬掩模层和抗蚀剂的工序;将上述抗蚀剂图案化,得到抗蚀剂图案的工序;将上述抗蚀剂图案作为掩模,对硬掩模层进行蚀刻,得到图案状硬掩模层的工序;剥离上述抗蚀剂图案的工序;将上述图案状硬掩模层作为掩模,对上述中间层进行蚀刻,得到图案状中间层的工序;剥离上述图案状硬掩模层的工序;和形成磁记录层的工序,该工序在上述图案状中间层上形成垂直取向部,并在上述种子层上形成无规取向部。

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