漏泄检查装置以及漏泄检查方法

    公开(公告)号:CN103154690A

    公开(公告)日:2013-06-12

    申请号:CN201180047466.1

    申请日:2011-09-27

    Inventor: 山口哲哉

    CPC classification number: G01M3/26 G01M3/3263

    Abstract: 一种漏泄检查装置及漏泄检查方法,所述漏泄检查装置将气体封入到工件(W)的内部或对工件的内部进行抽吸从而对从工件的泄漏进行检查,所述漏泄检查装置具备:减压装置,其对工件内部的气体进行减压;加压装置,其对工件内部的气体进行加压;温度传感器,其对工件的温度进行检测;压力传感器,其对工件内部的气体的压力进行检测;控制器。控制器计算出,与工件的温度相同的温度下的饱和水蒸气压力,并且,通过对减压装置进行控制从而进行减压,直至工件内部的气体的压力成为饱和水蒸气压力为止,且对工件内部的气化了的水蒸气进行抽吸,并通过对加压装置进行控制从而将气体封入到工件内部,且对工件内部的气体进行加压,直至由温度传感器检测出的工件的温度(To)成为预定温度(T1)为止。通过这种结构,能够去除成为实施漏泄检查时的外部干扰因素的、工件的温度变化以及工件内部的水残留。

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