倒装芯片封装方法及其焊锡点形成方法

    公开(公告)号:CN100495677C

    公开(公告)日:2009-06-03

    申请号:CN200680008187.3

    申请日:2006-03-16

    IPC分类号: H01L21/60 H05K3/34

    摘要: 供给一种可能适用于下一代半导体集成电路的倒装芯片封装的、生产性及信赖性高的倒装芯片封装方法、以及衬底间连接方法。具有多个连接端子(11)的电路衬底(21)和具有多个电极端子(12)的半导体芯片(20)的间隙间,供给含有焊锡粉(16)和气泡产生剂的树脂(14)后,加热树脂(14),使树脂(14)中含有的气泡产生剂产生气泡(30)。树脂(14),由产生的气泡(30)的膨胀被向气泡(30)外推出,在电路衬底(10)和半导体芯片(20)的端子间自行聚合。再有,通过加热树脂(14),熔融端子间自行聚合了的树脂(14)中含有的焊锡粉(16),在端子间形成连接体(22),完成倒装芯片封装体。