场效应叉指背接触光伏器件及其形成方法

    公开(公告)号:CN103872185B

    公开(公告)日:2016-06-29

    申请号:CN201310629464.4

    申请日:2013-11-29

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 本发明涉及场效应叉指背接触光伏器件及其形成方法。一种形成光伏器件的方法,包括:在衬底上对电介质层进行构图,以形成在形状之间具有本地间隔并且在形状组之间具有远程间隔的构图的电介质,以及在所述构图的电介质之上沉积掺杂的外延层,使得在所述外延层的与所述衬底接触的部分中发生选择性的晶体生长并且在所述外延层的与所述构图的电介质接触的部分中发生非晶体生长。在所述构图的电介质的所述本地间隔之上形成第一金属接触,并且在所述远程间隔之上形成第二金属接触。使用所述第一和第二金属接触作为蚀刻掩膜蚀刻所述非晶体生长的暴露部分,从而形成交替的叉指发射极和背接触叠层。

    MEMS晶体管及其制造方法

    公开(公告)号:CN103723674B

    公开(公告)日:2016-02-17

    申请号:CN201310481578.9

    申请日:2013-10-15

    Abstract: 本发明涉及MEMS晶体管及其制造方法。公开了用于CMOS集成电路的FBEOL层级的MEMS晶体管。该MEMS晶体管包括集成电路内的腔。具有两端的MEMS悬臂开关被设置在该腔中且在两端中的至少一端被锚定。栅极和漏极位于该腔的侧壁中且与MEMS悬臂开关分隔开一间隙。响应于施加到栅极的电压,MEMS悬臂开关在与CMOS集成电路的FBEOL层级的平面平行的方向上移动跨过该间隙而与漏极接触,以允许电流在源极和漏极之间流动。也公开了制造MEMS晶体管的方法。根据该方法,在与CMOS集成电路的远后端制程(FBEOL)层级平行的平面中在FBEOL层级上构造MEMS悬臂开关、栅极和漏极。通过牺牲材料将MEMS悬臂开关与栅极和漏极分隔开,该牺牲材料最终被去除以释放MEMS悬臂开关且在MEMS悬臂开关与栅极和漏极之间提供间隙。

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