N型薄膜晶体管
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105810747B

    公开(公告)日:2018-11-30

    申请号:CN201410848447.4

    申请日:2014-12-31

    IPC分类号: H01L29/786

    摘要: 本发明涉及一种N型薄膜晶体管,其包括一半导体碳纳米管层、一栅极、一源极及一漏极设置于一绝缘基底表面,所述栅极、半导体碳纳米管层依次层叠设置于所述绝缘基底表面,且所述栅极与所述半导体碳纳米管层绝缘设置,所述源极及漏极间隔设置且分别与所述半导体碳纳米管层电连接,其中,进一步包括一功能性介质层及氧化镁层,所述功能性介质层设置于所述半导体碳纳米管层远离绝缘基底的表面;一氧化镁层,所述氧化镁层设置于所述半导体碳纳米管层与栅极之间,并且覆盖所述半导体碳纳米管层靠近所述栅极的表面。

    具有扩展触头的碳纳米管晶体管

    公开(公告)号:CN105940497B

    公开(公告)日:2018-11-16

    申请号:CN201480074465.X

    申请日:2014-12-04

    IPC分类号: H01L29/78 H01L21/336

    摘要: 一种半导体器件,包含沿着第一方向延伸以界定长度且沿着与第一方向垂直的第二方向延伸以界定高度的基板。该基板包含电介质层以及形成于电介质层上的至少一个栅极叠层。源极触头被形成于栅极叠层的第一侧的相邻处,并且漏极触头被形成于栅极叠层的相对第二侧的相邻处。碳纳米管形成于源极触头和漏极触头上。纳米管的第一部分形成源极。第二部分形成漏极。第三部分被置于源极和漏极之间,以界定沿第一方向延伸的栅极沟道。源极和漏极沿第二方向延伸,并具有比栅极沟道长的长度。