公开(公告)号：CN109782544B

公开(公告)日：2021-08-06

申请号：CN201810648614.9

申请日：2018-06-22

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈裕凯 ,  钟佳宏 ,  高克斌 ,  叶书佑 ,  吴立仁 ,  柯智佑 ,  林明鸿

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种制造半导体器件的方法以及一种半导体处理系统。方法包含以下步骤。在光刻工具中的衬底上形成光刻胶层。使光刻胶层在光刻工具中曝光以形成曝光光刻胶层。通过使用显影剂使曝光光刻胶层显影以在光刻工具中形成图案化光刻胶层。将显影剂的氨气副产物从光刻工具中移除。

公开(公告)号：CN110875223A

公开(公告)日：2020-03-10

申请号：CN201910816909.7

申请日：2019-08-30

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈裕凯 ,  方进坤 ,  高克斌 ,  吴立仁

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 本揭露的实施例提供一种泄漏检测系统、整合装置及泄漏检测方法。用于检测液体供应管的泄漏的系统包括：管套，该管套包围与喷嘴相邻的液体供应管的端部；及感测器系统，用以检测在端部处从液体供应管泄漏的液体的存在。感测器系统与液体供应管的端部对准。

公开(公告)号：CN106941085A

公开(公告)日：2017-07-11

申请号：CN201611258706.3

申请日：2016-12-30

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 洪敏翔 ,  黄腾億 ,  田復仁 ,  吴立仁 ,  吴振名 ,  黄廷辉 ,  庄铭洋

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02

CPC classification number: B05C19/008 ,  B05B14/44 ,  B05C5/02 ,  B05C11/08 ,  H01L21/00 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/02104

Abstract: 本案介绍一涂镀装置，此涂镀装置包括晶圆座、涂镀材料源头、施配头、排气系统及衬里。晶圆座用以支撑晶圆。施配头用以在晶圆上施配涂镀材料。排气系统用以排出过量的涂镀材料。衬里至少部分地存在于排气系统内表面上。衬里具有对涂镀材料的耐粘性，及衬里耐粘性大于排气系统内表面的耐粘性。

公开(公告)号：CN110712582B

公开(公告)日：2021-07-16

申请号：CN201910629306.6

申请日：2019-07-12

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 于之跃 ,  王希鸣 ,  陈裕凯 ,  吴立仁 ,  杨谨漪 ,  邱惠琪

IPC: B60P3/00

Abstract: 本公开叙述一种更换光刻胶瓶罐的车辆、电脑系统及更换方法。示例性的车辆包括一处理器，配置以接收一请求信号，以更换一第一光刻胶瓶罐。处理器亦配置以传递基于请求信号的一指令。车辆亦包括多个车轮，配置以从第一地点移动车辆至一第二地点、及从第二地点移动车辆至第一地点。车辆还包括一机械手臂，配置以在第一地点装载第一光刻胶瓶罐至一第一容器中；装载一第二光刻胶瓶罐至一第二容器中；从第二光刻胶瓶罐移除一盖部及从第一光刻胶瓶罐移除一套筒；耦接第一光刻胶瓶罐的套筒至第二光刻胶瓶罐；及从第二容器卸载第二光刻胶瓶罐。

公开(公告)号：CN109817548A

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201811359669.4

申请日：2018-11-15

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 谢文杰 ,  叶书佑 ,  高克斌 ,  钟佳宏 ,  吴立仁 ,  陈俊佑 ,  陈宏铭 ,  吴泳铤

IPC: H01L21/67

Abstract: 本公开一些实施例提供一种晶圆处理系统，包括处理腔室、排放导管、采样管、防护元件、及气体感测器。排放导管连接到处理腔室。采样管位在排放导管中并沿延伸方向所延伸。防护元件位在采样管的上游端(靠近制程腔室处)，且从上游端观察，采样管被防护元件所覆盖。气体感测器连接到采样管，且配置以监测排放导管中的气体状况。

公开(公告)号：CN110875223B

公开(公告)日：2023-03-21

申请号：CN201910816909.7

申请日：2019-08-30

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈裕凯 ,  方进坤 ,  高克斌 ,  吴立仁

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 本揭露的实施例提供一种泄漏检测系统、整合装置及泄漏检测方法。用于检测液体供应管的泄漏的系统包括：管套，该管套包围与喷嘴相邻的液体供应管的端部；及感测器系统，用以检测在端部处从液体供应管泄漏的液体的存在。感测器系统与液体供应管的端部对准。

公开(公告)号：CN110870990A

公开(公告)日：2020-03-10

申请号：CN201910803381.X

申请日：2019-08-28

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 黄扬伦 ,  方进坤 ,  吴立仁 ,  陈裕凯

IPC: B01D19/02 ,  B01D35/02

Abstract: 本揭露提供一种用于分配液体的系统与从液体分配系统消除气泡的方法。此系统包括过滤器及储罐，此过滤器适用于过滤液体及在过滤器的液体出口处提供过滤液体，此储罐具有经由第一管耦接至此过滤器的液体出口的液体入口。储罐包括具有第一横向尺寸的上部及具有小于第一横向尺寸的第二横向尺寸的下部。储罐的上部位于储罐的液体入口上方。

公开(公告)号：CN110780537B

公开(公告)日：2023-06-16

申请号：CN201910695369.1

申请日：2019-07-30

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈裕凯 ,  于之跃 ,  吴立仁 ,  王希鸣 ,  高克斌 ,  叶书佑 ,  锺佳宏 ,  陈文雄

IPC: G03F7/16 ,  G03F7/20 ,  G01M3/04

Abstract: 本公开涉及一种容器、监测泄漏的系统及设备。容器用以将物件放置于其中。前述容器包括：容器本体、盖体、防撞部、配对识别机构以及检测液体感测器。盖体位于前述容器本体上方。防撞部被附接至前述容器本体和前述盖体的其中一或多者，且配置以缓冲冲击力。配对识别机构被配置以检测放置于前述容器本体中的物件。检测液体感测器被配置以检测来自前述物件的泄漏。

公开(公告)号：CN110970291A

公开(公告)日：2020-04-07

申请号：CN201910280992.0

申请日：2019-04-09

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈裕凯 ,  袁芳围 ,  高克斌 ,  王希鸣 ,  叶书佑 ,  吴立仁 ,  于之躍

IPC: H01L21/027

Abstract: 本公开内容的实施方式描述了自动替换光阻瓶的化学品替换系统和方法。化学品替换系统包括计算机系统和传送模块。计算机系统可以接收替换一或多个化学品容器的请求信号，并发送指令至传送模块。传送模块由计算机系统控制，传送模块可以包括：配置为支持一或多个化学品容器的支持器；配置为响应指令而打开的门单元；以及配置为响应指令而弹出支持器的传送单元，以进行替换。化学品替换系统可以更包括自动载具，其配置为替换在弹出的支持器中的一或多个化学品容器。

公开(公告)号：CN110780537A

公开(公告)日：2020-02-11

申请号：CN201910695369.1

申请日：2019-07-30

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈裕凯 ,  于之跃 ,  吴立仁 ,  王希鸣 ,  高克斌 ,  叶书佑 ,  锺佳宏 ,  陈文雄

IPC: G03F7/16 ,  G03F7/20 ,  G01M3/04

Abstract: 本公开涉及一种容器、监测泄漏的系统及设备。容器用以将物件放置于其中。前述容器包括：容器本体、盖体、防撞部、配对识别机构以及检测液体感测器。盖体位于前述容器本体上方。防撞部被附接至前述容器本体和前述盖体的其中一或多者，且配置以缓冲冲击力。配对识别机构被配置以检测放置于前述容器本体中的物件。检测液体感测器被配置以检测来自前述物件的泄漏。