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公开(公告)号：CN110970291A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201910280992.0
申请日：2019-04-09
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/027
Abstract: 本公开内容的实施方式描述了自动替换光阻瓶的化学品替换系统和方法。化学品替换系统包括计算机系统和传送模块。计算机系统可以接收替换一或多个化学品容器的请求信号，并发送指令至传送模块。传送模块由计算机系统控制，传送模块可以包括：配置为支持一或多个化学品容器的支持器；配置为响应指令而打开的门单元；以及配置为响应指令而弹出支持器的传送单元，以进行替换。化学品替换系统可以更包括自动载具，其配置为替换在弹出的支持器中的一或多个化学品容器。
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