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公开(公告)号：CN113814097A
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202011095472.1
申请日：2020-10-14
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 一种液体供应系统以及液体供应方法。液体供应方法包含使用一液体供应系统提供一液体至一第一晶圆上，其中该液体供应系统具有一液体容置槽、一喷头以及一第一过滤器，该液体供应系统用以使该液体从该液体容置槽经该第一过滤器而流至该喷头；停止提供该液体至该第一晶圆上；将该第一过滤器替换为一第二过滤器；外接一循环系统至该液体供应系统；使用该循环系统，使该液体循环地流过该第二过滤器；在使该液体循环地流过该第二过滤器之后，从该液体供应系统上，移除该循环系统；以及在移除该循环系统之后，使用该液体供应系统提供该液体至一第二晶圆上。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN114660901A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202011541481.9
申请日：2020-12-23
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 一种用于处理晶圆的设备以及处理晶圆的方法，用于处理晶圆的设备包含第一制程处理室、第二制程处理室、转移区、机器手臂装置以及抽气管。转移区连接该第一制程处理室以及该第二制程处理室。机器手臂装置设置于该转移区中。该机器手臂装置包含晶圆夹具、移动组件以及防尘壳体。移动组件用以控制该晶圆夹具移动，该移动组件包含一滑轨。防尘壳体围绕该移动组件的该滑轨。抽气管被防尘壳体围绕，其中该抽气管包含多个开孔于抽气管的侧壁上。
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公开(公告)号：CN110870990A
公开(公告)日：2020-03-10
申请号：CN201910803381.X
申请日：2019-08-28
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 本揭露提供一种用于分配液体的系统与从液体分配系统消除气泡的方法。此系统包括过滤器及储罐，此过滤器适用于过滤液体及在过滤器的液体出口处提供过滤液体，此储罐具有经由第一管耦接至此过滤器的液体出口的液体入口。储罐包括具有第一横向尺寸的上部及具有小于第一横向尺寸的第二横向尺寸的下部。储罐的上部位于储罐的液体入口上方。
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公开(公告)号：CN113814097B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202011095472.1
申请日：2020-10-14
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 一种液体供应系统以及液体供应方法。液体供应方法包含使用一液体供应系统提供一液体至一第一晶圆上，其中该液体供应系统具有一液体容置槽、一喷头以及一第一过滤器，该液体供应系统用以使该液体从该液体容置槽经该第一过滤器而流至该喷头；停止提供该液体至该第一晶圆上；将该第一过滤器替换为一第二过滤器；外接一循环系统至该液体供应系统；使用该循环系统，使该液体循环地流过该第二过滤器；在使该液体循环地流过该第二过滤器之后，从该液体供应系统上，移除该循环系统；以及在移除该循环系统之后，使用该液体供应系统提供该液体至一第二晶圆上。
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