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公开(公告)号：CN110712582B
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN201910629306.6
申请日：2019-07-12
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: B60P3/00
Abstract: 本公开叙述一种更换光刻胶瓶罐的车辆、电脑系统及更换方法。示例性的车辆包括一处理器，配置以接收一请求信号，以更换一第一光刻胶瓶罐。处理器亦配置以传递基于请求信号的一指令。车辆亦包括多个车轮，配置以从第一地点移动车辆至一第二地点、及从第二地点移动车辆至第一地点。车辆还包括一机械手臂，配置以在第一地点装载第一光刻胶瓶罐至一第一容器中；装载一第二光刻胶瓶罐至一第二容器中；从第二光刻胶瓶罐移除一盖部及从第一光刻胶瓶罐移除一套筒；耦接第一光刻胶瓶罐的套筒至第二光刻胶瓶罐；及从第二容器卸载第二光刻胶瓶罐。
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公开(公告)号：CN110780537B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN201910695369.1
申请日：2019-07-30
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 本公开涉及一种容器、监测泄漏的系统及设备。容器用以将物件放置于其中。前述容器包括：容器本体、盖体、防撞部、配对识别机构以及检测液体感测器。盖体位于前述容器本体上方。防撞部被附接至前述容器本体和前述盖体的其中一或多者，且配置以缓冲冲击力。配对识别机构被配置以检测放置于前述容器本体中的物件。检测液体感测器被配置以检测来自前述物件的泄漏。
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公开(公告)号：CN110780537A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201910695369.1
申请日：2019-07-30
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 本公开涉及一种容器、监测泄漏的系统及设备。容器用以将物件放置于其中。前述容器包括：容器本体、盖体、防撞部、配对识别机构以及检测液体感测器。盖体位于前述容器本体上方。防撞部被附接至前述容器本体和前述盖体的其中一或多者，且配置以缓冲冲击力。配对识别机构被配置以检测放置于前述容器本体中的物件。检测液体感测器被配置以检测来自前述物件的泄漏。
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公开(公告)号：CN110712582A
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201910629306.6
申请日：2019-07-12
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: B60P3/00
Abstract: 本公开叙述一种更换光刻胶瓶罐的车辆、电脑系统及更换方法。示例性的车辆包括一处理器，配置以接收一请求信号，以更换一第一光刻胶瓶罐。处理器亦配置以传递基于请求信号的一指令。车辆亦包括多个车轮，配置以从第一地点移动车辆至一第二地点、及从第二地点移动车辆至第一地点。车辆还包括一机械手臂，配置以在第一地点装载第一光刻胶瓶罐至一第一容器中；装载一第二光刻胶瓶罐至一第二容器中；从第二光刻胶瓶罐移除一盖部及从第一光刻胶瓶罐移除一套筒；耦接第一光刻胶瓶罐的套筒至第二光刻胶瓶罐；及从第二容器卸载第二光刻胶瓶罐。
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