薄膜太阳能电池模块的制造方法和薄膜太阳能电池模块

    公开(公告)号:CN102017172B

    公开(公告)日:2013-03-27

    申请号:CN200980116223.1

    申请日:2009-05-12

    IPC分类号: H01L31/04

    摘要: 本发明提供一种薄膜太阳能电池模块的制造方法和薄膜太阳能电池模块,采用该制造方法可确保薄膜太阳能电池模块的绝缘耐压特性具有较高的可靠性。本发明所述的薄膜太阳能电池模块的制造方法包括:在有绝缘性的透明基板(10)上形成第1电极层(11)的步骤;形成第1隔离槽(21X、21Y)的步骤,由其隔开透明基板的周边区域(30X、30Y)和位于该周边区域内侧的发电区域(50),其形成深度达到透明基板的表面;在透明基板上形成半导体层(13)的步骤;在透明基板上形成第2电极层(12)的步骤;形成第2隔离槽(22a、22X、22Y)的步骤,其比第1隔离槽还靠近周边区域,其形成深度达到透明基板的表面;对周边区域进行喷砂处理以去除周边区域上的第1电极层、半导体层和第2电极层的步骤。

    太阳能电池及其制造方法
    66.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102804394A

    公开(公告)日:2012-11-28

    申请号:CN201080065423.1

    申请日:2010-09-08

    IPC分类号: H01L31/04

    摘要: 公开了具有良好电池特性的太阳能电池、以及该太阳能电池的制造方法。具体地,公开了包括至少一层光电转换元件的太阳能电池的制造方法,在这些层中由微晶硅膜构成的i型硅层设置在n型硅层和p型硅层之间,并且基板侧n型硅层或p型硅层由非晶硅膜构成。在该方法中,通过将含硅烷气体和氢气的混合气体引入腔室的等离子体CVD法来形成光电转换元件,并且在基板侧n型硅层或p型硅层与i型硅层之间形成由微晶硅膜构成的籽晶层。籽晶层在与基板侧n型硅层或p型硅层接触的部分中具有比i型硅层低的结晶率,并且继续至结晶率朝着i型硅层阶段性地或逐渐地增大的i型硅层。