一种高灵敏度半导体纳米紫外光探测器的制备方法

    公开(公告)号:CN106898664A

    公开(公告)日:2017-06-27

    申请号:CN201710026074.6

    申请日:2017-01-13

    摘要: 本发明公开了一种高灵敏度半导体纳米紫外光探测器的制备方法,先制备二维超薄结构单晶ZnO纳米材料;将二维超薄结构单晶ZnO纳米材料从生长衬底转移;将二维超薄结构单晶ZnO纳米材料与有机溶液或去离子水混合;超声分散二维超薄结构单晶ZnO纳米材料的溶液;将所述二维超薄结构单晶ZnO纳米材料溶液涂覆在半导体、绝缘、导电的衬底表面;沿所述二维超薄结构单晶ZnO纳米材料米材料长度方向,两端镀制金属导电电极;利用掩膜版遮挡二维超薄结构单晶ZnO纳米材料,镀制绝缘氧化物覆盖层,形成绝缘氧化物半遮盖或者对称遮盖结构,得到二维超薄结构单晶ZnO纳米紫外光探测器。本发明具有结构简单、体积小、响应快、灵敏度高等特点。

    一种深紫外光化学水浴沉积制备硫化镉纳米薄膜的方法

    公开(公告)号:CN106486557A

    公开(公告)日:2017-03-08

    申请号:CN201610937244.1

    申请日:2016-11-01

    摘要: 本发明涉及半导体光电材料技术领域,提供了一种深紫外光化学水浴沉积制备硫化镉纳米薄膜的方法,将金属源CdSO4、硫源Na2S2O3、含SO32-的硫源释放控制剂及H2SO4溶液混合,得到沉积液,将沉积液的pH值稳定在3.5~4.0,将衬底浸渍于沉积液中,使沉积液液面与衬底的上表面的距离小于1mm,使用LED深紫外光照射,形成硫化镉纳米薄膜。所述方法能够使硫源的释放得到控制,提高了薄膜生长的均匀性。对比一般光化学沉积工艺,该工艺使用的深紫外光源功率小,热效应低,经过光学设计后在固定范围内深紫外光强度均一,能制备出达到铜铟镓硒太阳能电池缓冲层要求的、均匀一致的、与基底紧密接触的高质量纳米硫化镉薄膜。