公开(公告)号：CN105829221A

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201480067872.8

申请日：2014-12-19

申请人： 纽升股份有限公司

发明人： B·赫克特曼 ,  P·克洛弗 ,  D·赫拉斯 ,  A·C·沃尔 ,  R·泰勒 ,  G·G·彭

IPC分类号： B65H20/06 ,  C23C16/509 ,  C23C16/54 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/20

CPC分类号： C23C2/24 ,  B65H20/06 ,  B65H2301/51214 ,  B65H2301/5162 ,  B65H2401/213 ,  B65H2404/20 ,  B65H2404/694 ,  B65H2515/71 ,  B65H2701/1121 ,  B65H2801/87 ,  C23C18/02 ,  C23C18/1204 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/03923 ,  H01L31/206 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

摘要： 所公开的是用于处理幅材的方法和系统。幅材(402)具有第一表面、与第一表面相对的第二表面，并且包括磁性材料。例示性系统包括处理床(202)，其经配置以当幅材的第一表面经历一个或多个处理步骤时支撑幅材。系统也包括相对于处理床放置的磁体(300)以便在幅材上施加朝向处理床拉动幅材(403)的中心的磁力。系统进一步包括传送带(404)，其经配置以使幅材在处理床(202)上移动。传送带(404)具有第一接触表面和与第一接触表面相对的第二接触表面。第一接触表面经配置以接触幅材的第二表面，并且第二接触表面经配置以接触处理床。

公开(公告)号：CN105874099A

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201480068619.4

申请日：2014-12-19

申请人： 纽升股份有限公司

发明人： B·赫克特曼 ,  P·克洛弗 ,  D·赫拉斯 ,  A·C·沃尔 ,  R·泰勒 ,  G·G·彭

IPC分类号： C23C18/12 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L31/1876 ,  B05C5/007 ,  B05C11/026 ,  B05C11/1039 ,  C23C18/1204 ,  C23C18/125 ,  H01L31/03925 ,  H01L31/03926 ,  H01L31/1836 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/50

摘要： 提供用于由板条上的流体混合物形成层的方法和系统。所述系统包含用于将所述流体混合物输送到所述板条上的流体输送设备。所述流体输送设备包含级联装置和化学物质分配器装置。所述系统还包含流体搅拌设备，其包括至少一个风扇，所述至少一个风扇定位在所述板条上方且经配置以产生流型，所述流型在形成所述层时搅拌所述板条上的所述流体混合物，而不使所述至少一个风扇接触所述流体混合物。所述系统进一步包含具有冲洗装置和抽吸装置的流体去除设备。所述冲洗装置经配置以将冲洗流体分配到所述板条上。所述抽吸装置经配置以通过抽吸来去除所述冲洗流体和在形成所述层之后所述流体混合物的剩余在所述板条上的剩余部分。