公开(公告)号：CN105829221A

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201480067872.8

申请日：2014-12-19

申请人： 纽升股份有限公司

发明人： B·赫克特曼 ,  P·克洛弗 ,  D·赫拉斯 ,  A·C·沃尔 ,  R·泰勒 ,  G·G·彭

IPC分类号： B65H20/06 ,  C23C16/509 ,  C23C16/54 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/20

CPC分类号： C23C2/24 ,  B65H20/06 ,  B65H2301/51214 ,  B65H2301/5162 ,  B65H2401/213 ,  B65H2404/20 ,  B65H2404/694 ,  B65H2515/71 ,  B65H2701/1121 ,  B65H2801/87 ,  C23C18/02 ,  C23C18/1204 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/03923 ,  H01L31/206 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

摘要： 所公开的是用于处理幅材的方法和系统。幅材(402)具有第一表面、与第一表面相对的第二表面，并且包括磁性材料。例示性系统包括处理床(202)，其经配置以当幅材的第一表面经历一个或多个处理步骤时支撑幅材。系统也包括相对于处理床放置的磁体(300)以便在幅材上施加朝向处理床拉动幅材(403)的中心的磁力。系统进一步包括传送带(404)，其经配置以使幅材在处理床(202)上移动。传送带(404)具有第一接触表面和与第一接触表面相对的第二接触表面。第一接触表面经配置以接触幅材的第二表面，并且第二接触表面经配置以接触处理床。