公开(公告)号：CN102598312A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201080049999.9

申请日：2010-10-26

申请人： 陶氏环球技术有限责任公司

发明人： 托德·R·布里登 ,  巴福德·I·莱蒙 ,  约瑟夫·乔治 ,  丽贝卡·克里斯汀-里格曼·费斯特

IPC分类号： H01L31/18

CPC分类号： H01L31/0749 ,  C23C14/0623 ,  H01L21/02565 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/02576 ,  H01L31/0296 ,  H01L31/02963 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/0323 ,  H01L31/03925 ,  H01L31/03928 ,  H01L31/18 ,  H01L31/1828 ,  Y02E10/50 ,  Y02E10/541 ,  Y02E10/543

摘要： 在氧化性气体的存在下在基板上设置n型硫属化物组合物层，所述氧化性气体的量足以对于所述层提供这样的电阻率：所述电阻率低于在相同的条件下但是在基本上不存在氧的情况下沉积的层的电阻率。

公开(公告)号：CN102598312B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201080049999.9

申请日：2010-10-26

申请人： 陶氏环球技术有限责任公司

发明人： 托德·R·布里登 ,  巴福德·I·莱蒙 ,  约瑟夫·乔治 ,  丽贝卡·克里斯汀-里格曼·费斯特

IPC分类号： H01L31/18

CPC分类号： H01L31/0749 ,  C23C14/0623 ,  H01L21/02565 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/02576 ,  H01L31/0296 ,  H01L31/02963 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/0323 ,  H01L31/03925 ,  H01L31/03928 ,  H01L31/18 ,  H01L31/1828 ,  Y02E10/50 ,  Y02E10/541 ,  Y02E10/543

摘要： 在氧化性气体的存在下在基板上设置n型硫属化物组合物层，所述氧化性气体的量足以对于所述层提供这样的电阻率：所述电阻率低于在相同的条件下但是在基本上不存在氧的情况下沉积的层的电阻率。