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公开(公告)号：CN102844883A
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201180018589.2
申请日：2011-02-12
申请人： 速力斯公司
IPC分类号： H01L31/042 , H01L31/18 , H01L21/306 , H01L21/20
CPC分类号： H01L21/20 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要： 本发明提供了用于在可重复使用的半导体模板的两面制造TFSS的制造方法和设备，从而有效地提高衬底的产量并降低其制造成本。对于给定的模板重复使用循环次数，这种方法可将每一个制造出的衬底(TFSS)所分摊的起始模板成本降低一半。
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公开(公告)号：CN102763225A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201080063303.8
申请日：2010-12-09
申请人： 速力斯公司
发明人： M·M·穆斯利赫 , P·卡普尔 , K·J·克拉默 , D·X·王 , S·苏特 , V·V·雷纳 , A·卡尔卡特拉 , E·范·科斯查伟 , D·哈伍德 , M·曼苏里 , M·温格特
IPC分类号： H01L31/042 , H01L31/0216
CPC分类号： H01L31/0236 , H01L31/0201 , H01L31/02167 , H01L31/022441 , H01L31/022458 , H01L31/02363 , H01L31/035281 , H01L31/03529 , H01L31/03921 , H01L31/056 , H01L31/068 , H01L31/0682 , H01L31/18 , H01L31/1804 , H01L31/1892 , Y02E10/52 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要： 本发明提供一种使用半导体晶片的背结背触点太阳能电池及其制造方法。该背结背触点太阳能电池包括具有掺杂的基极区域、光俘获正面表面和掺杂的背面发射极区域的半导体晶片。正面和背面介电层和钝化层提供增强光阱和内反射。将背面基极和发射极触点连接至金属互连件，所述金属互连件在太阳能电池背面形成由叉指状电极和汇流条形成的金属化图案。
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公开(公告)号：CN103918088B
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201280049551.6
申请日：2012-08-09
申请人： 速力斯公司
发明人： M·M·穆斯利赫 , P·卡普尔 , K·J·克拉默 , V·V·雷纳 , S·苏特 , A·德什潘德 , A·卡尔卡特拉 , G·奥尔森 , K·曼特齐 , T·斯塔尔库普 , G·D·卡米安 , D·X·王 , Y·苏 , M·温格特
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/0392 , H01L31/068 , H01L31/048 , H01L31/05 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/022441 , H01L31/0201 , H01L31/02167 , H01L31/02327 , H01L31/03765 , H01L31/0392 , H01L31/049 , H01L31/0516 , H01L31/0682 , H01L31/075 , H01L31/1812 , H01L31/1896 , Y02E10/547
摘要： 本文描述了背接触太阳能电池背板的制作方法和结构，所述背板提供了太阳能电池衬底的加固和电互连,本文还描述了形成薄膜背接触太阳能电池的制作方法和结构。
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公开(公告)号：CN102782869B
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201080063496.7
申请日：2010-12-09
申请人： 速力斯公司
IPC分类号： H01L31/042 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/0236 , H01L31/0201 , H01L31/02167 , H01L31/022441 , H01L31/022458 , H01L31/02363 , H01L31/035281 , H01L31/03529 , H01L31/03921 , H01L31/056 , H01L31/068 , H01L31/0682 , H01L31/18 , H01L31/1804 , H01L31/1892 , Y02E10/52 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要： 提供了背结背接触三维太阳能电池及其制造方法。背结背接触三维太阳能电池包括三维衬底。该衬底包括具有钝化层的光捕获正面表面，掺杂的基极区域，和极性与掺杂的基极区域相反的掺杂的背面发射极区域。背面钝化层置于掺杂的背面发射极区域上。背面发射极触点和背面基极触点，其连接至金属互连件且选择性地在三维太阳能电池背面的三维特征上形成。
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公开(公告)号：CN102763226A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201080063494.8
申请日：2010-12-09
申请人： 速力斯公司
IPC分类号： H01L31/042 , H01L31/0216
CPC分类号： H01L31/0236 , H01L31/0201 , H01L31/02167 , H01L31/022441 , H01L31/022458 , H01L31/02363 , H01L31/035281 , H01L31/03529 , H01L31/03921 , H01L31/056 , H01L31/068 , H01L31/0682 , H01L31/18 , H01L31/1804 , H01L31/1892 , Y02E10/52 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要： 本发明提供了背结背触点太阳能电池及其制造方法。所述背结背触点太阳能电池包括衬底，所述衬底具有：具有钝化层的光捕获正面表面，掺杂的基极区域，以及掺杂的背面发射极区域，所述背面发射极区域的极性与掺杂的基极区域相反。发射极上的背面钝化层和图案化的反射层形成光捕获背面反射镜。在所述太阳能电池的背面设置交叉指状金属化图案，并且为该电池的支撑提供永久性加强物。
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公开(公告)号：CN102763226B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201080063494.8
申请日：2010-12-09
申请人： 速力斯公司
IPC分类号： H01L31/042 , H01L31/0216
CPC分类号： H01L31/0236 , H01L31/0201 , H01L31/02167 , H01L31/022441 , H01L31/022458 , H01L31/02363 , H01L31/035281 , H01L31/03529 , H01L31/03921 , H01L31/056 , H01L31/068 , H01L31/0682 , H01L31/18 , H01L31/1804 , H01L31/1892 , Y02E10/52 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要： 本发明提供了背结背触点太阳能电池及其制造方法。所述背结背触点太阳能电池包括衬底，所述衬底具有：具有钝化层的光捕获正面表面，掺杂的基极区域，以及掺杂的背面发射极区域，所述背面发射极区域的极性与掺杂的基极区域相反。发射极上的背面钝化层和图案化的反射层形成光捕获背面反射镜。在所述太阳能电池的背面设置交叉指状金属化图案，并且为该电池的支撑提供永久性加强物。
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公开(公告)号：CN102844883B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201180018589.2
申请日：2011-02-12
申请人： 速力斯公司
IPC分类号： H01L31/18
CPC分类号： H01L21/20 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要： 本发明提供了用于在可重复使用的半导体模板的两面制造TFSS的制造方法和设备，从而有效地提高衬底的产量并降低其制造成本。对于给定的模板重复使用循环次数，这种方法可将每一个制造出的衬底(TFSS)所分摊的起始模板成本降低一半。
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公开(公告)号：CN102763225B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201080063303.8
申请日：2010-12-09
申请人： 速力斯公司
发明人： M·M·穆斯利赫 , P·卡普尔 , K·J·克拉默 , D·X·王 , S·苏特 , V·V·雷纳 , A·卡尔卡特拉 , E·范·科斯查伟 , D·哈伍德 , M·曼苏里 , M·温格特
IPC分类号： H01L31/042 , H01L31/0216
CPC分类号： H01L31/0236 , H01L31/0201 , H01L31/02167 , H01L31/022441 , H01L31/022458 , H01L31/02363 , H01L31/035281 , H01L31/03529 , H01L31/03921 , H01L31/056 , H01L31/068 , H01L31/0682 , H01L31/18 , H01L31/1804 , H01L31/1892 , Y02E10/52 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要： 本发明提供一种使用半导体晶片的背结背触点太阳能电池及其制造方法。该背结背触点太阳能电池包括具有掺杂的基极区域、光俘获正面表面和掺杂的背面发射极区域的半导体晶片。正面和背面介电层和钝化层提供增强光阱和内反射。将背面基极和发射极触点连接至金属互连件，所述金属互连件在太阳能电池背面形成由叉指状电极和汇流条形成的金属化图案。
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公开(公告)号：CN103918088A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201280049551.6
申请日：2012-08-09
申请人： 速力斯公司
发明人： M·M·穆斯利赫 , P·卡普尔 , K·J·克拉默 , V·V·雷纳 , S·苏特 , A·德什潘德 , A·卡尔卡特拉 , G·奥尔森 , K·曼特齐 , T·斯塔尔库普 , G·D·卡米安 , D·X·王 , Y·苏 , M·温格特
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/0392 , H01L31/068 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/022441 , H01L31/0201 , H01L31/02167 , H01L31/02327 , H01L31/03765 , H01L31/0392 , H01L31/049 , H01L31/0516 , H01L31/0682 , H01L31/075 , H01L31/1812 , H01L31/1896 , Y02E10/547
摘要： 本文描述了背接触太阳能电池背板的制作方法和结构，所述背板提供了太阳能电池衬底的加固和电互连,本文还描述了形成薄膜背接触太阳能电池的制作方法和结构。
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公开(公告)号：CN104737302A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201380040222.X
申请日：2013-05-29
申请人： 速力斯公司 , A·德什潘德 , P·卡普尔 , V·V·雷纳 , M·M·穆斯利赫 , S·M·苏特 , H·德沙泽尔 , S·科默拉 , P·安巴拉甘 , B·E·拉特尔 , S·库坦特
CPC分类号： H01L31/022441 , H01L31/02167 , H01L31/0682 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要： 描述了与太阳能电池的多级金属化有关的制作方法和结构。在一个实施例中，背触点太阳能电池包括具有接收光的前侧表面的衬底，以及用于形成图案化的发射极和非嵌套的基极区域的背侧表面。在晶体半导体衬底的背侧表面形成叉指状的掺杂的发射极和基极区域。在图案化的掺杂的发射极和基极区域上形成图案化的电绝缘层堆叠，该电绝缘层堆叠至少包括掺杂层和非掺杂覆盖层的组合。形成触点金属化图案，该触点金属化图案包括接触发射极区域的发射极金属化电极和接触基极区域的非嵌套基极金属化电极，其中，允许非嵌套基极金属化电极超出基极区域，从而与至少一部分的图案化的电绝缘体重叠而不会在太阳能电池中引发电分流。
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