射频收发机中长条型热电与纳米硅薄膜光电集成发电机

    公开(公告)号:CN108470780A

    公开(公告)日:2018-08-31

    申请号:CN201810208027.8

    申请日:2018-03-14

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 廖小平 陈友国

    Abstract: 本发明的射频收发机中长条型热电与纳米硅薄膜光电集成发电机,衬底为N型硅片,制作有非晶硅(a-Si)薄膜、绒面和背电结结构,正负电极如图2所示进行连接,然后制备了第一氮化硅隔离层,用于隔离热电光电。热电式发电机的主要单元为热电堆,热电堆是由一系列的P型多晶硅纳米线簇和N型多晶硅纳米线簇构成的,溅射一层金属Ti/Au层作为热电堆电极,串联得到如图3所示的热电堆结构,最后PECVD生长第二氮化硅隔离层,电镀一层厚度Al金属层作为器件的散热板。本发电机采用纳米硅薄膜,其热导率远低于传统体材料,可以实现一边维持电子运输,一边抑制热量输送,从而极大的提高了热电发电效率,在热电发电实用化上具有重要意义。

    基于Ge/Si虚衬底的GeSn光电探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107785454A

    公开(公告)日:2018-03-09

    申请号:CN201610726274.8

    申请日:2016-08-25

    Inventor: 乔丽萍

    CPC classification number: H01L31/1804 H01L21/268 H01L31/0312 H01L31/03921

    Abstract: 本发明涉及一种基于Ge/Si虚衬底的GeSn光电探测器及其制备方法,该方法包括:选取Si衬底;生长Ge籽晶层;生长Ge主体层;生长SiO2层;将整个衬底材料加热至700℃,连续采用激光工艺晶化,激光波长为808nm,光斑尺寸10mm×1mm,功率为1.5kW/cm2,移动速度为25mm/s,形成晶化Ge层;去除SiO2层;掺杂形成P型晶化Ge层;生长本征GeSn层及N型Ge层、SiO2钝化层及Cr/Au层;利用CMP工艺进行处理后形成光电探测器。本发明采用的激光晶化工艺具有选择性高,控制精度高,晶化速度快,工艺步骤简单,工艺周期短,热预算低等优点;通过连续激光辅助晶化Ge/Si虚衬底,可有效降低Ge/Si虚衬底的位错密度、表面粗糙度、界面缺陷从而降低了GeSn光电探测器暗电流。

    光检测元件
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104956496B

    公开(公告)日:2016-09-21

    申请号:CN201380068374.0

    申请日:2013-06-27

    CPC classification number: H01L31/028 H01L31/03921 H01L31/0745 Y02E10/547

    Abstract: 由于根据掺杂量来评价制造的石墨烯p‑n垂直接合的光检测特性,因此提供包含石墨烯p‑n均质接合二极管的光检测元件。所述光检测元件包括:基板;光检测层,其作为形成在所述基板上的光检测层,包括p‑n垂直均质接合的石墨烯,具有在350nm至1100nm范围内超过10E11(Jones)的检测能;和形成在所述光检测层上的第一电极和第二电极。

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