公开(公告)号：CN101861653B

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN200980101026.2

申请日：2009-01-23

申请人： 应用材料公司

发明人： 德卢夫·格加里亚 ,  李志勇 ,  格沛拉克里西那·B·普拉布 ,  雅科夫·埃尔格 ,  约翰·维斯塔西恩 ,  刘勇 ,  杰弗里·S·沙利文 ,  萨尔瓦多·尤默托伊 ,  泰·T·恩高 ,  迈克尔·马里奥特 ,  彼得·克伦德维尔 ,  维内·沙 ,  霍·基恩·乔伊 ,  丹尼斯·C·皮尔斯

IPC分类号： H01L31/00 ,  B24D9/00

CPC分类号： B24B9/10 ,  B24B49/045 ,  B24B55/02 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/67727 ,  H01L31/186 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

摘要： 本发明总体涉及一种设置在自动化太阳能电池生产线中的清边模块。该清边模块可包括砂轮设备，用于从太阳能电池器件的多个边缘区除去材料，以及在除去材料之后清洁太阳能电池器件的边缘区。该清边模块还可包括摩擦元件，在该摩擦元件朝向砂轮设备周期性地横向前进时，摩擦元件的一部分被磨掉。提供了用于控制模块的各种面的操作和功能的控制器。

公开(公告)号：CN101796481B

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN200880105071.0

申请日：2008-08-29

申请人： 应用材料公司

发明人： 罗伯特·Z·巴克拉克 ,  蔡容基 ,  崔寿永 ,  尼古拉斯·G·J·德弗里 ,  雅科夫·埃尔格 ,  埃里克·A·恩格尔哈特 ,  米歇尔·R·弗赖 ,  查尔斯·盖伊 ,  帕里斯·霍金斯 ,  乔伊·胡 ,  詹姆斯·克雷格·亨特 ,  潘查拉·N·坎卡纳拉 ,  李利伟 ,  温·胡·罗 ,  丹尼·卡姆·托恩·鲁 ,  方·梅 ,  斯蒂芬·P·墨菲 ,  斯鲁杰尔·帕特尔 ,  马修·J·B·桑德斯 ,  阿萨夫·施莱辛格 ,  盛殊然 ,  苏杰发 ,  杰弗里·S·沙利文 ,  戴维·坦纳 ,  特雷莎·特罗布里奇 ,  布赖斯·沃克 ,  约翰·M·怀特 ,  泰·K·王

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L31/042

CPC分类号： H01L21/67236 ,  B23K26/364 ,  B26F3/002 ,  B26F3/004 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/04 ,  C03B33/03 ,  C03B33/033 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6776 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/0504 ,  H01L31/075 ,  H02S50/00 ,  H02S50/10 ,  Y02E10/548 ,  Y02P40/57 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/49355 ,  Y10T29/5196 ,  Y10T29/53113 ,  Y10T29/5313 ,  Y10T29/5317 ,  Y10T29/53187 ,  Y10T29/53365 ,  Y10T29/53417 ,  Y10T225/10 ,  Y10T225/325 ,  Y10T225/329

摘要： 本发明涉及利用适以在形成太阳能电池的处理中执行一或多个步骤的处理模块来形成光电装置或太阳能电池的系统。自动化太阳能电池工厂一般配置有用来形成太阳能电池的自动化处理模块和自动化设备。此自动化太阳能电池工厂因此大致包含一基板接收模块，用来接收基板；一或多个吸收层沉积群集工具，具有至少一个处理腔室可沉积含硅层在基板表面上；一或多个背接触沉积腔室；一或多个材料移除腔室；太阳能电池封装装置；热压釜模块；自动化接线箱附接模块；和一或多个质量确保模块，适以测试及合格化已完全形成的太阳能电池装置。