SiC晶片的生成方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108145307A

    公开(公告)日:2018-06-12

    申请号:CN201711143027.6

    申请日:2017-11-17

    Inventor: 平田和也

    Abstract: 提供实现生产率提高的SiC晶片的生成方法。该SiC晶片的生成方法包括下述工序:改质部形成工序,将对于单晶SiC具有透过性的波长的脉冲激光光线(LB)的聚光点(FP)定位在距离SiC晶锭(50)的第一面(52)相当于要生成的SiC晶片的厚度的深度,对SiC晶锭(50)照射脉冲激光光线(LB),在c面上形成SiC分离成Si和C的改质部(60);剥离层形成工序,连续地形成改质部(60),从改质部(60)起在c面各向同性地形成裂纹(62),形成用于从SiC晶锭(50)将SiC晶片剥离的剥离层(64);和晶片生成工序,以剥离层(64)为界面将SiC晶锭(50)的一部分剥离而生成SiC晶片(66)。

    薄板的分离方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106057737A

    公开(公告)日:2016-10-26

    申请号:CN201610190979.2

    申请日:2016-03-30

    Inventor: 平田和也

    Abstract: 提供薄板的分离方法。SiC基板具有:第一面和位于该第一面的相反侧的第二面;从该第一面至该第二面的c轴;以及与该c轴垂直的c面,所述薄板的分离方法将在SiC基板的该第一面上通过外延生长而层叠的薄板从SiC基板分离,具有如下的步骤:分离起点形成步骤,从该第二面将对于SiC基板具有透过性的波长的激光束的聚光点定位在SiC基板的该第一面附近,并且使该聚光点与SiC基板相对地移动而对该第二面照射该激光束,形成与该第一面平行的改质层和从该改质层沿着c面伸长的裂痕而形成分离起点;以及分离步骤,在实施了该分离起点形成步骤之后,施加外力而从该分离起点起将该薄板从SiC基板分离。

    脆性板的加工方法及脆性板的加工装置

    公开(公告)号:CN105848841A

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201480070538.8

    申请日:2014-12-15

    CPC classification number: C03B33/033 B26F3/00 B26F3/002 B28D1/222

    Abstract: 本发明涉及一种脆性板的加工方法,其包括折断工序,该折断工序中,使用用于按压脆性板的正面的按压构件和用于支承所述脆性板的背面的支承构件来使所述脆性板弯曲变形,藉此沿着所述脆性板的正面的切割线将所述脆性板切断;其中,所述支承构件包括平坦部和规定部,所述平坦部平坦地支承所述脆性板的一部分,所述规定部在利用所述按压构件对所述脆性板的其余部分的规定位置进行按压时规定所述脆性板的弯曲变形的形状;所述折断工序中,利用所述平坦部平坦地支承所述脆性板的所述一部分,并且利用所述按压构件对所述脆性板的所述其余部分的规定位置进行按压,藉此沿着所述脆性板的所述其余部分的所述切割线将所述脆性板切断。

    用于制造网状金属垫的方法和设备以及带状网材料

    公开(公告)号:CN103209781B

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201180043401.X

    申请日:2011-07-20

    Inventor: K-H.施塔尔

    Abstract: 本发明涉及用于由金属带材料制造网状金属垫的方法,为此,首先通过刻槽辊给带材料配备彼此平行运行的刻槽(2)用于形成金属芯线(1)。刻槽(2)在此取决于原料地被实施得如此深,使得尽可能不构造剪断切口。刻槽(2)以至少一种方式由未被刻槽的区域这样地被中断,使得它们稍后形成网络节点(4),其中这些未被刻槽的区域在各自刻槽(2)中的互相间距确定稍后的可能的网孔宽度。网络节点(4)在分别相邻的刻槽(2)中被错开大约一半的网络节点间距。然后,这样成形的带经受挤压过程,在挤压过程中连接到刻槽基础上的、还将金属芯线(1)相互连接的接片(3)这样地遭受围绕其纵轴的多重弯曲变形,使得通过疲劳断裂形成断口。这些断口导致在接片(3)的区域中金属芯线(1)的完全分离,而在网络节点(4)处不形成断口。最后带材料遭受作用在其两个边缘侧的金属芯线(1)上的横向拉力,由此实现芯线带(5)向网状结构的扩展的变形。本发明还涉及用于执行该方法的设备,以及这样制造的金属垫。

    分离单元和包括分离单元的分配器

    公开(公告)号:CN104755000A

    公开(公告)日:2015-07-01

    申请号:CN201280076557.2

    申请日:2012-10-26

    Abstract: 本发明提供了一种用于沿预制的弱线分离料幅材料的分离单元。所述分离单元具有宽度方向并且包括至少第一辊和至少第二辊,所述第一辊具有沿所述宽度方向延伸的旋转轴线和沿宽度方向延伸的料幅宽度,所述第二辊具有平行于所述第一辊的所述旋转轴线延伸的旋转轴线和沿宽度方向延伸的料幅宽度。所述第二辊定位在距所述第一辊一定距离处,所述距离沿垂直于所述宽度方向的方向延伸。所述第一辊和所述第二辊的每个均具备从所述轴线垂直延伸的至少一个突出元件。每个所述突出元件具有沿所述宽度方向的最大宽度、从所述旋转轴线的最大径向延伸尺寸、邻近于所述旋转轴线的内部以及远离所述旋转轴线的外部。所述第一辊上的所述突出元件的所述外部被设置为与所述第二辊上的所述突出元件的所述外部为交错关系从而第一辊上的突出元件的外部与第二辊上的突出元件的外部以一径向重叠长度部分地重叠,因此在辊之间形成了用于料幅材料的波状通道。所述径向重叠长度为2-40mm之间,优选2-20mm之间,更优选3-12mm之间,或最优选4-10mm之间。

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