一种负热膨胀材料Y2W3O12薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN105331935A

    公开(公告)日:2016-02-17

    申请号:CN201510632801.4

    申请日:2015-09-29

    申请人: 扬州大学

    IPC分类号: C23C14/28 C23C14/08

    CPC分类号: C23C14/28 C23C14/083

    摘要: 本发明公开了一种负热膨胀材料Y2W3O12薄膜的制备方法。属于无机非金属负热膨胀功能材料领域。本发明的负热膨胀Y2W3O12薄膜是采用自制的Y2W3O12陶瓷靶材,利用脉冲激光沉积法制备并在沉积仓内于900-1100℃原位退火制备得到,该Y2W3O12薄膜响应温度范围宽,负热膨胀性能稳定,且制备温度低、无需淬火、热处理工艺简单。脉冲激光沉积法使沉积的Y2W3O12薄膜和靶材的化学成分保持良好的一致性,同时逸出粒子具有较大的能量有利于薄膜生长,原位退火后制备薄膜质量高,制备过程具有良好的可重复性、制备周期短、成本低,具有良好的应用前景。