用于高温太阳能热应用的杂化多层太阳能选择性涂层及其制备工艺
摘要:
本发明描述了一种具有高热稳定性的可用于高温太阳能热发电的杂化多层太阳能选择性涂层。通过溅射法与溶胶-凝胶法的新型组合,本发明的杂化多层太阳能选择性涂层已被沉积在金属和非金属衬底上,且优选被沉积在具有铬间层的SS 304和321上。本发明的杂化多层太阳能选择性涂层是由钛/铬间层、氮化铝钛(AlTiN)层、氮氧化铝钛(AlTiON)层、氧化铝钛(AlTiO)层以及有机改性二氧化硅(ormosil)层堆叠而成的。铬间层是通过电镀法而沉积的,而Ti层、AlTiN层、AlTiON层和AlTiO层是通过一种四阴极反应性非平衡脉冲直流磁控溅射技术而制成的。ormosil层是通过溶胶-凝胶技术而沉积的,由此使其在空气中和真空中具有更强的吸收能力和更高的长期热稳定性。本发明提供了一种杂化多层太阳能选择性涂层,该涂层的吸收率>0.950,发射率
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