基板固定装置
    14.
    发明公开
    基板固定装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN116469824A

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202310057169.X

    申请日:2023-01-18

    Abstract: 本公开涉及一种基板固定装置,包括:底板,该底板具有在底板的厚度方向上穿透底板的第一通孔;陶瓷板,该陶瓷板粘合至底板,该陶瓷板具有埋入在陶瓷板中的电极和形成为与第一通孔连通的第二通孔,并且构造成通过当向电极施加电压时产生的静电力来吸附吸附目标对象;绝缘塞,该绝缘塞布置在第一通孔中的与第二通孔连接的连接部处;以及密封构件,该密封构件附接至绝缘塞并且构造成密封连接部的周边。

    静电吸盘和基板固定装置
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115547910A

    公开(公告)日:2022-12-30

    申请号:CN202210736062.3

    申请日:2022-06-27

    Abstract: 本发明提供一种静电吸盘和基板固定装置,静电吸盘包括陶瓷板、吸附电极、接地电极和布线。吸附电极内置在陶瓷板的一个表面附近。接地电极在陶瓷板的另一表面和吸附电极之间布置在陶瓷板中,并且可以连接到接地电位。布线与陶瓷板中的接地电极连接,并延伸到陶瓷板的一个表面。

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