公开(公告)号：CN115547910A

公开(公告)日：2022-12-30

申请号：CN202210736062.3

申请日：2022-06-27

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 春原昌宏 ,  佐藤坚 ,  中村达矢

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘和基板固定装置，静电吸盘包括陶瓷板、吸附电极、接地电极和布线。吸附电极内置在陶瓷板的一个表面附近。接地电极在陶瓷板的另一表面和吸附电极之间布置在陶瓷板中，并且可以连接到接地电位。布线与陶瓷板中的接地电极连接，并延伸到陶瓷板的一个表面。

公开(公告)号：CN115708196A

公开(公告)日：2023-02-21

申请号：CN202210985042.X

申请日：2022-08-17

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 佐藤坚 ,  竹元启一 ,  中村达矢

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种底板和基板固定装置，底板具有一个表面和与该一个表面相反的另一表面。静电吸盘能够安装在该一个表面上。底板包括设置在其中的制冷剂流路。制冷剂流路的内壁具有在与制冷剂流动的方向相交的方向上的纵向截面中朝向一个表面凸出的上表面。在上表面上形成有凹凸部。