具有多沟道有源区的半导体器件
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114068532A

    公开(公告)日:2022-02-18

    申请号:CN202110455007.2

    申请日:2021-04-26

    Abstract: 一种多沟道绝缘体上半导体(SOI)晶体管包括:衬底,所述衬底上具有电绝缘层和位于所述电绝缘层上的半导体有源层。还设置了掩埋在所述半导体有源层内的间隔开的绝缘栅电极的竖直堆叠。该竖直堆叠包括邻近所述电绝缘层延伸的第一绝缘栅电极和与所述半导体有源层的表面间隔开的第(N‑1)绝缘栅电极,其中,N是大于2的正整数。第N绝缘栅电极设置在所述半导体有源层的所述表面上。成对的源极/漏极区域设置在所述半导体有源层内。这些源极/漏极区域邻近所述间隔开的绝缘栅电极的竖直堆叠的相对两侧延伸。在这些方面中的一些方面,所述半导体有源层在所述成对的源极/漏极区域与所述电绝缘层之间延伸,而所述第一绝缘栅电极接触所述电绝缘层。

    静态随机存取存储单元
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101383349A

    公开(公告)日:2009-03-11

    申请号:CN200810166500.7

    申请日:2003-01-07

    CPC classification number: H01L27/11 H01L27/1104

    Abstract: 本发明公开一种SRAM单元,包括:半导体衬底;设置在半导体衬底内的第一有源区;邻近第一有源区的第二有源区,第二有源区包括基本上平行于第一有源区的驱动晶体管有源区、从驱动晶体管有源区的中心区域沿着相反于第一有源区的方向延伸的接地源极区、以及从驱动晶体管有源区的相对端沿着相反于第一有源区的方向延伸的第一和第二传输有源区;暴露出接地源极区的一部分的地线接触孔,地线接触孔被构造成由该单元和相邻单元共享;以及横穿第一和第二传输晶体管有源区的地线,地线具有延伸以覆盖地线接触孔并通过地线接触孔电连接到接地源极区的一部分,该部分还被构造成电连接到相邻单元的地线上。

    半导体器件中的节点接触结构及其制造方法

    公开(公告)号:CN1641882A

    公开(公告)日:2005-07-20

    申请号:CN200510003953.4

    申请日:2005-01-12

    CPC classification number: H01L27/11 H01L27/1108 Y10S257/903

    Abstract: 静态随机存取存储器(SRAM)器件包括在具有源极/漏极区的半导体衬底上的体MOS晶体管、在体MOS晶体管上的绝缘层以及在体MOS晶体管上的绝缘层上的具有源极/漏极区的薄膜晶体管。器件还包括在体MOS晶体管与薄膜晶体管之间的多层栓塞。多层栓塞包括直接在体MOS晶体管的源极/漏极区上并延伸穿过绝缘层的至少一部分的半导体栓塞,和直接在薄膜晶体管的源极/漏极区和半导体栓塞上并延伸穿过绝缘层的至少一部分的金属栓塞。还公开了相关方法。

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