制造半导体器件的方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115799050A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202211132482.7

    申请日:2022-09-08

    Inventor: 孙良锈

    Abstract: 一种制造半导体器件的方法包括:在多条心轴线中的至少一条心轴线中形成切断区;在多条心轴线和非心轴区中共形地形成间隔物材料层;以及在切断区中形成切割间隔物并沉积间隙填充材料,使得在非心轴区的一部分上形成切割块,并且切割间隔物的凹入部分被填充。

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