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公开(公告)号:CN100562996C
公开(公告)日:2009-11-25
申请号:CN200710085044.9
申请日:2007-02-28
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC分类号: H01L23/488 , H01L23/498
CPC分类号: H01L24/12 , H01L23/49816 , H01L23/49838 , H01L24/81 , H01L2224/0554 , H01L2224/05552 , H01L2224/05573 , H01L2224/13099 , H01L2224/8119 , H01L2224/8121 , H01L2224/81815 , H01L2924/00014 , H01L2924/01006 , H01L2924/01015 , H01L2924/01033 , H01L2924/01068 , H01L2924/01075 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/30107 , H01L2224/05599 , H01L2224/0555 , H01L2224/0556
摘要: 本发明提供一种半导体封装结构,包括:一封装基板,其具有一表面,用以接受一半导体芯片,该半导体芯片面对面连接至该封装基板,该表面上具有以多个接触垫构成的一图案,其中,各接触垫用以接受该半导体芯片的一焊接凸块,该图案包括一中央区、一外部区以及一过渡区,其中,该外部区围绕该中央区,该过渡区在该中央区及该外部区之间,且该过渡区的图案密度小于该中央区及该外部区的图案密度,其中该外部区包括多个外部列,该过渡区包括由所述接触垫排列成的至少一过渡列。本发明的半导体封装结构可使助焊剂的清洁处理更有效率且更完全,且可避免焊接凸块周围的底部填胶材料剥离,进而增加芯片倒装焊封装处理的可靠度。
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公开(公告)号:CN101118889A
公开(公告)日:2008-02-06
申请号:CN200710085044.9
申请日:2007-02-28
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC分类号: H01L23/488 , H01L23/498
CPC分类号: H01L24/12 , H01L23/49816 , H01L23/49838 , H01L24/81 , H01L2224/0554 , H01L2224/05552 , H01L2224/05573 , H01L2224/13099 , H01L2224/8119 , H01L2224/8121 , H01L2224/81815 , H01L2924/00014 , H01L2924/01006 , H01L2924/01015 , H01L2924/01033 , H01L2924/01068 , H01L2924/01075 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/30107 , H01L2224/05599 , H01L2224/0555 , H01L2224/0556
摘要: 本发明提供一种半导体封装结构,包括:一封装基板,其具有一表面,用以接受一半导体芯片,该半导体芯片面对面连接至该封装基板,该表面上具有以多个接触垫构成的一图案,其中,各接触垫用以接受该半导体芯片的一焊接凸块,该图案包括一中央区、一外部区以及一过渡区,其中,该外部区围绕该中央区,该过渡区在该中央区及该外部区之间,且该过渡区的图案密度小于该中央区及该外部区的图案密度。本发明的半导体封装结构可使助焊剂的清洁处理更有效率且更完全,且可避免焊接凸块周围的底部填胶材料剥离,进而增加芯片倒装焊封装处理的可靠度。
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公开(公告)号:CN106169454A
公开(公告)日:2016-11-30
申请号:CN201610333169.8
申请日:2016-05-19
申请人: 精材科技股份有限公司
IPC分类号: H01L23/488 , H01L23/52 , H01L21/60
CPC分类号: H01L31/02002 , H01L21/561 , H01L23/3114 , H01L23/562 , H01L31/0216 , H01L31/186 , H01L2224/11 , H01L24/10 , H01L23/488 , H01L23/52 , H01L24/81 , H01L2224/1302 , H01L2224/8119
摘要: 一种晶片封装体及其制造方法。晶片封装体包含:晶片、绝缘层、流动材料绝缘层以及导电层。晶片具有导电垫、侧面以及相对的第一表面与第二表面,侧面位于第一表面与第二表面之间,导电垫位于第一表面下,并凸出于侧面。绝缘层覆盖第二表面与侧面,而流动材料绝缘层位于绝缘层下,并具有缺口暴露凸出于侧面的导电垫。导电层位于流动材料绝缘层下,并延伸至缺口中接触导电垫。本发明能够提升晶片封装体内部线路间的绝缘性。
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公开(公告)号:CN105789071A
公开(公告)日:2016-07-20
申请号:CN201610189122.9
申请日:2016-03-29
申请人: 中国电子科技集团公司第二十九研究所
IPC分类号: H01L21/60 , H01L21/603 , H01L21/67
CPC分类号: H01L21/67121 , H01L24/75 , H01L24/81 , H01L2224/7555 , H01L2224/8119 , H01L2224/818
摘要: 本发明涉及微波芯片共晶技术,本发明公开了一种用于微波芯片共晶加压的装置,具体包括基板限位器、芯片限位器和点接触压块,芯片限位器上设置芯片限位孔,所述芯片限位孔的尺寸与芯片的尺寸相匹配,用作芯片的限位;芯片的下表面通过焊片与基板的上表面相接触;所述点接触压块的底板上设置微支撑柱,微支撑柱的数量小于或者等于芯片上表面的焊盘数量,微支撑柱的位置与芯片上表面的焊盘位置镜像对称,点接触压块上的微支撑柱与芯片上表面的焊盘相接触。芯片与基板共晶时,点接触压块上只有微支撑柱与芯片表面的焊盘相接触,避免了微波芯片表面“空气桥”等特殊结构的损伤。本发明还公开了一种微波芯片共晶加压方法。
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公开(公告)号:CN105428251A
公开(公告)日:2016-03-23
申请号:CN201510947251.5
申请日:2015-12-16
申请人: 南通富士通微电子股份有限公司
发明人: 丁万春
CPC分类号: H01L21/561 , H01L23/3135 , H01L24/97 , H01L2224/16227 , H01L2224/16237 , H01L2224/97 , H01L2924/15311 , H01L2224/81 , H01L21/4814 , H01L21/50 , H01L21/56 , H01L24/81 , H01L2224/8119
摘要: 本发明提供一种半导体堆叠封装方法,包括:在基板上表面形成金属柱凸点,金属柱凸点的上表面高于待装载的第一芯片的上表面;将第一芯片倒装于基板的上表面;在基板上表面形成第一塑封层,第一塑封层露出金属柱凸点的顶部;将第二芯片的功能区连接至金属柱凸点;在第一塑封层的上表面形成第二塑封层,第二塑封层包覆第二芯片;在基板的下表面形成焊球或者可焊接膜层。本发明通过在基板上形成金属柱凸点实现互联,能够实现窄间距、高密度、大电流、低导通电阻等性能优势;在基板上形成金属柱凸点,能够简化封装工艺,减少回流次数,降低由于回流造成的基板涨缩等工艺风险;可以整条基板制作,提高生产效率,降低生产成本。
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公开(公告)号:CN106252318A
公开(公告)日:2016-12-21
申请号:CN201610866729.6
申请日:2016-09-29
申请人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
发明人: 姚波
IPC分类号: H01L23/488 , H01L21/60
CPC分类号: H01L2224/11 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/81 , H01L2224/13 , H01L2224/16 , H01L2224/8119
摘要: 本发明涉及一种植球工艺和结构,其特征是:包括上晶圆和下晶圆,上晶圆的下表面沉积上晶圆绝缘层,下晶圆上表面沉积绝缘层,上晶圆下表面设有凸点,下晶圆上表面具有嵌入下晶圆上表面的嵌入式焊球,上晶圆下表面的凸点嵌入下晶圆的嵌入式焊球中,上晶圆绝缘层和下晶圆上表面的绝缘层实现键合。所述嵌入式焊球设置于下晶圆上表面的埋入孔中,在埋入孔的内壁依次设置绝缘层、种子层和焊盘层,在埋入孔的焊盘层上设置焊球。所述埋入孔的形状、尺寸与凸点的形状、尺寸一致。本发明能够保证晶圆凸点的有效互联以及两片晶圆键合的可靠性。
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公开(公告)号:CN106098666A
公开(公告)日:2016-11-09
申请号:CN201610213046.0
申请日:2016-04-07
申请人: 精材科技股份有限公司
IPC分类号: H01L23/488 , H01L21/60
CPC分类号: H01L24/17 , H01L21/4846 , H01L23/147 , H01L23/3121 , H01L23/3192 , H01L23/49816 , H01L23/49822 , H01L23/49827 , H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/06 , H01L24/09 , H01L24/13 , H01L24/14 , H01L24/16 , H01L24/81 , H01L25/16 , H01L2224/02372 , H01L2224/0345 , H01L2224/0346 , H01L2224/0391 , H01L2224/0401 , H01L2224/05022 , H01L2224/05548 , H01L2224/05567 , H01L2224/0603 , H01L2224/06182 , H01L2224/08267 , H01L2224/08268 , H01L2224/13024 , H01L2224/131 , H01L2224/1403 , H01L2224/16112 , H01L2224/16145 , H01L2224/16267 , H01L2224/16268 , H01L2224/81191 , H01L2224/81192 , H01L2224/81815 , H01L2224/81986 , H01L2924/00014 , H01L2924/19011 , H01L2924/19041 , H01L2924/19042 , H01L2924/19043 , H01L2224/11 , H01L2924/014 , H01L24/10 , H01L2224/1302 , H01L2224/8119
摘要: 一种晶片封装体及其制造方法,该晶片封装体包含一第一晶片与一第二晶片。第一晶片包含:一第一基板,具有相对的一第一表面与一第二表面;一第一无源元件,位于第一表面上;一第一保护层,覆盖第一无源元件,第一保护层还具有相对于该第一表面的一第三表面;以及一第一导电垫结构与一第二导电垫结构,位于第一保护层中,并电性连接至第一无源元件。第二晶片位于第三表面上,且具有一有源元件与一第二无源元件电性连接至有源元件,其中有源元件电性连接至第一导电垫结构。本发明不仅可节省大量的制程时间,且能降低已知电感元件的成本。
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公开(公告)号:CN105762133A
公开(公告)日:2016-07-13
申请号:CN201610193304.3
申请日:2016-03-30
申请人: 江苏长电科技股份有限公司
IPC分类号: H01L23/52 , H01L23/488 , H01L21/60
CPC分类号: H01L2224/48247 , H01L2224/73265 , H01L2924/181 , H01L2924/00012 , H01L23/52 , H01L24/14 , H01L24/81 , H01L2224/12105 , H01L2224/14 , H01L2224/8119 , H01L2224/8134 , H01L2224/81815
摘要: 本发明涉及一种堆叠式封装结构及其工艺方法,所述结构包括第一封装体(1)和第二封装体(2),所述第一封装体(1)包括第一基板(14)和第一芯片(16),所述第一基板(14)包括第一铜柱(11),所述第一基板上方的第一塑封料(17)上表面对应第一铜柱(11)的位置设置有开孔(18),所述第一铜柱(11)顶部设置有锡球(13),所述第二封装体(2)包括第二基板(19)、第二芯片(20)和第二塑封料(21),所述第二基板(19)下表面上设置有第二铜柱(12),所述第二铜柱(12)插装于第一塑封料(17)上的开孔(18)中。本发明一种堆叠式封装结构及其工艺方法,使回焊时的锡球能避免发生桥接现象,以提升产品的良率。
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