一种用于微波芯片共晶加压的装置及加压方法

    公开(公告)号:CN105789071A

    公开(公告)日:2016-07-20

    申请号:CN201610189122.9

    申请日:2016-03-29

    发明人: 王辉 庞婷

    摘要: 本发明涉及微波芯片共晶技术,本发明公开了一种用于微波芯片共晶加压的装置,具体包括基板限位器、芯片限位器和点接触压块,芯片限位器上设置芯片限位孔,所述芯片限位孔的尺寸与芯片的尺寸相匹配,用作芯片的限位;芯片的下表面通过焊片与基板的上表面相接触;所述点接触压块的底板上设置微支撑柱,微支撑柱的数量小于或者等于芯片上表面的焊盘数量,微支撑柱的位置与芯片上表面的焊盘位置镜像对称,点接触压块上的微支撑柱与芯片上表面的焊盘相接触。芯片与基板共晶时,点接触压块上只有微支撑柱与芯片表面的焊盘相接触,避免了微波芯片表面“空气桥”等特殊结构的损伤。本发明还公开了一种微波芯片共晶加压方法。

    植球工艺和结构
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106252318A

    公开(公告)日:2016-12-21

    申请号:CN201610866729.6

    申请日:2016-09-29

    发明人: 姚波

    IPC分类号: H01L23/488 H01L21/60

    摘要: 本发明涉及一种植球工艺和结构,其特征是:包括上晶圆和下晶圆,上晶圆的下表面沉积上晶圆绝缘层,下晶圆上表面沉积绝缘层,上晶圆下表面设有凸点,下晶圆上表面具有嵌入下晶圆上表面的嵌入式焊球,上晶圆下表面的凸点嵌入下晶圆的嵌入式焊球中,上晶圆绝缘层和下晶圆上表面的绝缘层实现键合。所述嵌入式焊球设置于下晶圆上表面的埋入孔中,在埋入孔的内壁依次设置绝缘层、种子层和焊盘层,在埋入孔的焊盘层上设置焊球。所述埋入孔的形状、尺寸与凸点的形状、尺寸一致。本发明能够保证晶圆凸点的有效互联以及两片晶圆键合的可靠性。