晶片封装体及其形成方法

    公开(公告)号:CN103165545B

    公开(公告)日:2016-05-18

    申请号:CN201210555392.9

    申请日:2012-12-19

    Abstract: 一种晶片封装体及其形成方法,该晶片封装体包括:一基底,具有一第一表面及一第二表面;一元件区,形成于该基底之中或设置于该基底之上;一介电层,设置于该基底的该第一表面上;一导电垫,设置于该介电层之中,且电性连接该元件区;一平坦层,设置于该介电层之上,其中该平坦层与该导电垫的上表面之间的一垂直距离大于约2微米;一透明基板,设置于该基底的该第一表面上;一第一间隔层,设置于该透明基板与该平坦层之间;及一第二间隔层,设置于该透明基板与该基底之间,且延伸进入该介电层的一开口而接触该导电垫,其中该第二间隔层与该导电垫之间大抵无间隙。本发明使得透明基板稳固地接合于基底之上,且在后续切割制程不会损坏晶片封装体。

    晶片封装体
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102651350B

    公开(公告)日:2015-01-28

    申请号:CN201210044614.0

    申请日:2012-02-24

    CPC classification number: H01L2224/11

    Abstract: 本发明提供一种晶片封装体,包括:一半导体基底,具有一元件区以及一与元件区相邻的非元件区;一封装层,设置于半导体基底之上;一间隔层,设置于半导体基底与封装层之间,且围绕元件区与非元件区;一环状结构,设置于半导体基底之上以及封装层之下,并位于间隔层与元件区之间,且围绕一部分的非元件区;以及一辅助图案,包含设置于间隔层或环状结构中的中空图案、或设置于间隔层与元件区之间的实体图案、或前述的组合。本发明能够增加晶片封装体的可靠度。

    电子装置及其制造方法
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107010591A

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:CN201610848544.2

    申请日:2016-09-26

    Abstract: 一种电子装置及其制造方法,该电子装置包含影像感测器与微机电装置。影像感测器具有装置层。微机电装置位于影像感测器上。微机电装置包含微机电元件、盖体元件与覆盖层。微机电元件位于装置层上,使得第一空腔形成于微机电元件与影像感测器之间。微机电元件具有多个镂空区。盖体元件位于微机电元件背对装置层的表面上,使得第二空腔形成于盖体元件与微机电元件之间。盖体元件具有连通第二空腔的开口。第一空腔与第二空腔通过镂空区连通。覆盖层位于盖体元件背对微机电元件的表面上与盖体元件的开口中。本发明能够提升电子装置的效能。

    晶片封装体及其形成方法

    公开(公告)号:CN103165545A

    公开(公告)日:2013-06-19

    申请号:CN201210555392.9

    申请日:2012-12-19

    Abstract: 一种晶片封装体及其形成方法,该晶片封装体包括:一基底,具有一第一表面及一第二表面;一元件区,形成于该基底之中或设置于该基底之上;一介电层,设置于该基底的该第一表面上;一导电垫,设置于该介电层之中,且电性连接该元件区;一平坦层,设置于该介电层之上,其中该平坦层与该导电垫的上表面之间的一垂直距离大于约2微米;一透明基板,设置于该基底的该第一表面上;一第一间隔层,设置于该透明基板与该平坦层之间;及一第二间隔层,设置于该透明基板与该基底之间,且延伸进入该介电层的一开口而接触该导电垫,其中该第二间隔层与该导电垫之间大抵无间隙。本发明使得透明基板稳固地接合于基底之上,且在后续切割制程不会损坏晶片封装体。

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