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公开(公告)号:CN106935558A
公开(公告)日:2017-07-07
申请号:CN201611234243.7
申请日:2016-12-28
Applicant: 精材科技股份有限公司
IPC: H01L23/31 , H01L23/485 , H01L21/56
CPC classification number: H01L27/14629 , H01L27/14623 , H01L27/14636 , H01L27/14685 , H01L27/14698 , H01L2224/11 , H01L23/3107 , H01L21/561 , H01L23/3121 , H01L23/485
Abstract: 一种晶片封装体及其制造方法,该晶片封装体包含一晶片、一绝缘层以及一导电层。晶片具有一基底、一磊晶层、一元件区与一导电垫,其中磊晶层位于基底上,元件区位于磊晶层上,而导电垫位于元件区的一侧并连接至元件区,且导电垫凸出于磊晶层的一侧面。绝缘层位于基底下并延伸覆盖磊晶层的侧面,而导电层,位于绝缘层下并延伸接触导电垫,且导电层与磊晶层的侧面相隔一第一距离。本发明不仅使得电流无法自磊晶层进入/导出导电层而造成短路,还简化了制程步骤与成本,且对于微小化设计有所助益。
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公开(公告)号:CN103325740B
公开(公告)日:2016-06-08
申请号:CN201310095231.0
申请日:2013-03-22
Applicant: 精材科技股份有限公司
CPC classification number: H01L23/562 , B81C1/00269 , B81C1/00357 , B81C3/001 , B81C2201/019 , H01L21/50 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种晶圆堆栈结构及方法,该晶圆堆栈结构包括:基板、设于该基板上且其表面具有凸部的坝块、以及设于该坝块上且具有凹处的晶圆。通过该坝块表面上的凸部嵌卡至该晶圆的凹处,能避免该晶圆的凹处与该坝块之间产生气室,所以在晶圆堆栈结构进行后续封装制程时,该晶圆不致因气室存在而与坝块分离。
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公开(公告)号:CN103165545B
公开(公告)日:2016-05-18
申请号:CN201210555392.9
申请日:2012-12-19
Applicant: 精材科技股份有限公司
CPC classification number: H01L21/78 , H01L21/50 , H01L21/561 , H01L23/10 , H01L23/48 , H01L27/14618 , H01L27/14632 , H01L27/14687 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种晶片封装体及其形成方法,该晶片封装体包括:一基底,具有一第一表面及一第二表面;一元件区,形成于该基底之中或设置于该基底之上;一介电层,设置于该基底的该第一表面上;一导电垫,设置于该介电层之中,且电性连接该元件区;一平坦层,设置于该介电层之上,其中该平坦层与该导电垫的上表面之间的一垂直距离大于约2微米;一透明基板,设置于该基底的该第一表面上;一第一间隔层,设置于该透明基板与该平坦层之间;及一第二间隔层,设置于该透明基板与该基底之间,且延伸进入该介电层的一开口而接触该导电垫,其中该第二间隔层与该导电垫之间大抵无间隙。本发明使得透明基板稳固地接合于基底之上,且在后续切割制程不会损坏晶片封装体。
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公开(公告)号:CN106169454A
公开(公告)日:2016-11-30
申请号:CN201610333169.8
申请日:2016-05-19
Applicant: 精材科技股份有限公司
IPC: H01L23/488 , H01L23/52 , H01L21/60
CPC classification number: H01L31/02002 , H01L21/561 , H01L23/3114 , H01L23/562 , H01L31/0216 , H01L31/186 , H01L2224/11 , H01L24/10 , H01L23/488 , H01L23/52 , H01L24/81 , H01L2224/1302 , H01L2224/8119
Abstract: 一种晶片封装体及其制造方法。晶片封装体包含:晶片、绝缘层、流动材料绝缘层以及导电层。晶片具有导电垫、侧面以及相对的第一表面与第二表面,侧面位于第一表面与第二表面之间,导电垫位于第一表面下,并凸出于侧面。绝缘层覆盖第二表面与侧面,而流动材料绝缘层位于绝缘层下,并具有缺口暴露凸出于侧面的导电垫。导电层位于流动材料绝缘层下,并延伸至缺口中接触导电垫。本发明能够提升晶片封装体内部线路间的绝缘性。
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公开(公告)号:CN103199065B
公开(公告)日:2015-10-21
申请号:CN201310009469.7
申请日:2013-01-10
Applicant: 精材科技股份有限公司
CPC classification number: H01L21/78 , B81C1/00888 , H01L21/561 , H01L23/12 , H01L23/3114 , H01L23/562 , H01L24/94 , H01L25/0657 , H01L25/50 , H01L2225/06513 , H01L2225/06527 , H01L2225/06541 , H01L2924/1461 , H01L2924/16235 , H01L2924/00
Abstract: 一种半导体堆栈结构及其制法,该半导体堆栈结构的制法通过将相堆栈的基板与晶圆进行切割制程,主要通过在切割处上先移除部分晶圆材质,以在该晶圆的芯片边缘形成应力集中处,再进行切割,使应力被迫集中在该晶圆的芯片边缘,而令该芯片的边缘翘曲。因此,可避免该应力延伸至该芯片的内部。
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公开(公告)号:CN102651350B
公开(公告)日:2015-01-28
申请号:CN201210044614.0
申请日:2012-02-24
Applicant: 精材科技股份有限公司
IPC: H01L23/16 , H01L23/488
CPC classification number: H01L2224/11
Abstract: 本发明提供一种晶片封装体,包括:一半导体基底,具有一元件区以及一与元件区相邻的非元件区;一封装层,设置于半导体基底之上;一间隔层,设置于半导体基底与封装层之间,且围绕元件区与非元件区;一环状结构,设置于半导体基底之上以及封装层之下,并位于间隔层与元件区之间,且围绕一部分的非元件区;以及一辅助图案,包含设置于间隔层或环状结构中的中空图案、或设置于间隔层与元件区之间的实体图案、或前述的组合。本发明能够增加晶片封装体的可靠度。
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公开(公告)号:CN107010591A
公开(公告)日:2017-08-04
申请号:CN201610848544.2
申请日:2016-09-26
Applicant: 精材科技股份有限公司
CPC classification number: H01L27/146 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81C1/00238 , B81C2203/0792 , B81B7/0041 , B81C1/00293
Abstract: 一种电子装置及其制造方法,该电子装置包含影像感测器与微机电装置。影像感测器具有装置层。微机电装置位于影像感测器上。微机电装置包含微机电元件、盖体元件与覆盖层。微机电元件位于装置层上,使得第一空腔形成于微机电元件与影像感测器之间。微机电元件具有多个镂空区。盖体元件位于微机电元件背对装置层的表面上,使得第二空腔形成于盖体元件与微机电元件之间。盖体元件具有连通第二空腔的开口。第一空腔与第二空腔通过镂空区连通。覆盖层位于盖体元件背对微机电元件的表面上与盖体元件的开口中。本发明能够提升电子装置的效能。
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公开(公告)号:CN103165545A
公开(公告)日:2013-06-19
申请号:CN201210555392.9
申请日:2012-12-19
Applicant: 精材科技股份有限公司
CPC classification number: H01L21/78 , H01L21/50 , H01L21/561 , H01L23/10 , H01L23/48 , H01L27/14618 , H01L27/14632 , H01L27/14687 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种晶片封装体及其形成方法,该晶片封装体包括:一基底,具有一第一表面及一第二表面;一元件区,形成于该基底之中或设置于该基底之上;一介电层,设置于该基底的该第一表面上;一导电垫,设置于该介电层之中,且电性连接该元件区;一平坦层,设置于该介电层之上,其中该平坦层与该导电垫的上表面之间的一垂直距离大于约2微米;一透明基板,设置于该基底的该第一表面上;一第一间隔层,设置于该透明基板与该平坦层之间;及一第二间隔层,设置于该透明基板与该基底之间,且延伸进入该介电层的一开口而接触该导电垫,其中该第二间隔层与该导电垫之间大抵无间隙。本发明使得透明基板稳固地接合于基底之上,且在后续切割制程不会损坏晶片封装体。
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公开(公告)号:CN107591375A
公开(公告)日:2018-01-16
申请号:CN201710547295.8
申请日:2017-07-06
Applicant: 精材科技股份有限公司
IPC: H01L23/31 , H01L23/485 , H01L21/56
CPC classification number: H01L24/02 , G06K9/00013 , H01L21/56 , H01L23/3114 , H01L23/3142 , H01L23/3171 , H01L24/08 , H01L24/11 , H01L24/13 , H01L24/19 , H01L24/20 , H01L24/82 , H01L24/94 , H01L24/96 , H01L27/14618 , H01L27/1462 , H01L27/14685 , H01L2224/02333 , H01L2224/0235 , H01L2224/0236 , H01L2224/0237 , H01L2224/02371 , H01L2224/02373 , H01L2224/02381 , H01L2224/03019 , H01L2224/04105 , H01L2224/08221 , H01L2224/11002 , H01L2224/13022 , H01L2224/13024 , H01L2224/131 , H01L2224/73259 , H01L2224/94 , H01L2224/96 , H01L2924/10155 , H01L2924/00012 , H01L2924/014 , H01L2224/0231 , H01L2224/11 , H01L2224/19
Abstract: 一种晶片封装体及其制作方法,该晶片封装体包含晶片、第一绝缘层、重布线层与钝化层。晶片具有感应器、至少一焊垫、相对的顶面与底面、及邻接顶面与底面的侧壁。感应器位于顶面。焊垫位于顶面的边缘。第一绝缘层位于晶片的底面与侧壁上。重布线层位于第一绝缘层上,且重布线层电性接触焊垫的侧面。重布线层至少部分凸出于焊垫而裸露。钝化层位于第一绝缘层与重布线层上,使未凸出焊垫的重布线层位于钝化层与第一绝缘层之间,而凸出焊垫的重布线层位于钝化层上。晶片封装体的感应器因无间隔件覆盖,可提升晶片封装体的感测能力。
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公开(公告)号:CN106373971A
公开(公告)日:2017-02-01
申请号:CN201610567538.X
申请日:2016-07-19
Applicant: 精材科技股份有限公司
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L24/06 , H01L21/6835 , H01L21/76802 , H01L21/76877 , H01L21/78 , H01L23/3171 , H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/11 , H01L24/29 , H01L24/43 , H01L24/45 , H01L2224/0231 , H01L2224/0233 , H01L2224/0401 , H01L2224/04042 , H01L2224/0605 , H01L2924/00014 , H01L2224/45099 , H01L27/14632 , H01L27/14618 , H01L27/14636 , H01L27/14687
Abstract: 本发明提出一种晶片尺寸等级的感测晶片封装体以及其制造方法,通过导入一暂时性载板,使得一厚度较薄的盖板晶圆可以覆盖于感测晶圆上,待晶圆级封装制程完成后,便可剥离该暂时性载板,使得所获得的晶片尺寸等级的感测晶片上的盖板变薄,故可增加晶片尺寸等级的感测晶片封装体的灵敏性。
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