Invention Publication
- Patent Title: 植球工艺和结构
- Patent Title (English): Ball mounting process and structure
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Application No.: CN201610866729.6Application Date: 2016-09-29
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Publication No.: CN106252318APublication Date: 2016-12-21
- Inventor: 姚波
- Applicant: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- Applicant Address: 江苏省无锡市新区太湖国际科技园菱湖大道200号中国传感网国际创新园D1栋(微纳创新园)
- Assignee: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- Current Assignee: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省无锡市新区太湖国际科技园菱湖大道200号中国传感网国际创新园D1栋(微纳创新园)
- Agency: 无锡市大为专利商标事务所
- Agent 曹祖良; 刘海
- Main IPC: H01L23/488
- IPC: H01L23/488 ; H01L21/60

Abstract:
本发明涉及一种植球工艺和结构,其特征是:包括上晶圆和下晶圆,上晶圆的下表面沉积上晶圆绝缘层,下晶圆上表面沉积绝缘层,上晶圆下表面设有凸点,下晶圆上表面具有嵌入下晶圆上表面的嵌入式焊球,上晶圆下表面的凸点嵌入下晶圆的嵌入式焊球中,上晶圆绝缘层和下晶圆上表面的绝缘层实现键合。所述嵌入式焊球设置于下晶圆上表面的埋入孔中,在埋入孔的内壁依次设置绝缘层、种子层和焊盘层,在埋入孔的焊盘层上设置焊球。所述埋入孔的形状、尺寸与凸点的形状、尺寸一致。本发明能够保证晶圆凸点的有效互联以及两片晶圆键合的可靠性。
Public/Granted literature
- CN106252318B 植球工艺和结构 Public/Granted day:2019-01-04
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