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公开(公告)号:CN1894787A
公开(公告)日:2007-01-10
申请号:CN200480025764.0
申请日:2004-09-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L21/67132 , Y10T156/1132 , Y10T156/1944
Abstract: 在压敏粘板(3)的、与半导体芯片(1)的粘附区域(R1)相对应的底面侧区域的附近被抽吸和保持的同时,移除件(21)的多个凸起部分(30)通过粘板在所述区域处与半导体芯片的底面相接触。并且,粘板被在各个凸起部分之间抽吸和保持,以便将半导体芯片通过粘附而粘附至粘板的表面粘结变成点粘结,并且进一步地,移除件沿着半导体芯片的底面被移动,以便改变点粘结的位置,并且降低通过粘附粘附至粘板的粘结力。然后,半导体芯片从粘板被移除。
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公开(公告)号:CN1144278C
公开(公告)日:2004-03-31
申请号:CN99810354.3
申请日:1999-08-27
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H01L22/12 , H01L24/75 , H01L24/81 , H01L2224/05568 , H01L2224/05573 , H01L2224/05644 , H01L2224/75 , H01L2224/759 , H01L2224/81801 , H01L2924/01006 , H01L2924/01033 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/19041 , H01L2924/19043 , H01L2924/3011 , H01L2924/00 , H01L2924/00014
Abstract: 使电子部件(150)和电路板(20)产生相对振动,所述电子部件的电极(13)和上述电路板的电极部分(21)通过压点(11、12)被焊接在一起时,由振动衰减检测装置(140)以及判定装置(141)测量所述压点和所述电极部分焊接过程导致的振动的衰减,根据该振动衰减来判定所述焊接的好坏。另外,对超声波发生器(133)而言,针对阻抗、或者吸嘴(93)的位移量、或者向VCM(121)提供的电流,将焊接过程中这些波形和正品的波形进行比较,加以判定。通过这样的构成,可以在焊接实施过程中对电子部件与电路板接合的好坏进行判定。另外,在焊接过程中,如果焊接状态变差,可以通过改变焊接条件,防止次品的产生,提高成品率。
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公开(公告)号:CN100511615C
公开(公告)日:2009-07-08
申请号:CN200610103179.9
申请日:2006-07-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H05K13/0465 , H01L2224/75 , H01L2224/75745 , H01L2224/758 , H01L2924/01087 , H01L2924/07811 , Y10T29/4913 , Y10T29/49144 , Y10T29/53174 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种元件安装装置和元件安装方法。在元件安装装置中,通过将上芯片安装在下芯片上,形成具有芯片上芯片结构的集成元件。将由元件载入头从元件载入单元拾起的下芯片放置在安装台上,在元件传送位置由元件运送头从第二元件托盘拾起的上芯片围绕旋转轴垂直倒置并传送到安装头,然后在元件安装位置由安装头保持的上芯片下降并通过焊合安装在由安装台保持的下芯片上。通过安装而形成的集成元件由元件运送头从安装台上取下,并贮存在元件贮存单元中的第一元件托盘中。
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公开(公告)号:CN1893010A
公开(公告)日:2007-01-10
申请号:CN200610103180.1
申请日:2006-07-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H05K13/0465 , H01L2224/75 , H01L2224/75745 , H01L2224/758 , H01L2924/01087 , H01L2924/07811 , Y10T29/49117 , Y10T29/4913 , Y10T29/49131 , Y10T29/49133 , Y10T29/53174 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种元件安装装置和元件安装方法。在元件安装装置中,通过将上芯片安装在下芯片上形成具有芯片上芯片结构的集成元件。将由元件载入头从元件载入单元拾起的下芯片放置在安装台上,在元件传送位置由元件运送头从第二元件托盘拾起的上芯片围绕旋转轴垂直倒置并传送到安装头,然后在元件安装位置上由安装头保持的上芯片下降并通过焊合安装在由安装台保持的下芯片上。通过安装而形成的集成元件由元件运送头从安装台上取出,并贮存在元件贮存单元中的第一元件托盘中。
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公开(公告)号:CN1823399A
公开(公告)日:2006-08-23
申请号:CN200480020265.2
申请日:2004-08-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67144 , H01L21/67132 , H01L2221/68322 , Y10T29/4913 , Y10T29/53174 , Y10T29/53178 , Y10T29/53183 , Y10T29/53187 , Y10T29/53191
Abstract: 一种元件安装设备(101)配置有:板保持装置(5,6),用于将板(8)保持在板保持位置(A,B,C和D)处;第一安装头(4),用于保持和取出从第一元件馈送位置(E)馈送的元件(2),并将所述元件安装在保持在板保持位置处的板上;第二安装头(34),用于保持和取出从第二元件馈送位置(F)馈送的元件,以将该元件安装在保持的板上;和具有用于保持晶片(1)的晶片保持台(12)的元件馈送装置(11),在其上:各自的元件被馈送,以便晶片保持台能够在第一元件馈送位置和第二元件馈送位置之间往复地运动。
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公开(公告)号:CN1643652A
公开(公告)日:2005-07-20
申请号:CN03807134.7
申请日:2003-03-27
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/00 , B23K20/10 , H05K1/11 , H01L21/607
CPC classification number: H01L24/81 , B23K20/10 , B23K2101/40 , H01L21/67144 , H01L24/75 , H01L2224/75 , H01L2224/75252 , H01L2224/75355 , H01L2224/75743 , H01L2224/81205 , H01L2224/8121 , H01L2224/81222 , H01L2224/81224 , H01L2224/81815 , H01L2924/01005 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/00
Abstract: 一部件安装装置包括:一部件馈送器(20),其用来馈送带有其面向下的隆起电极的部件(2),一用来将部件安装到一基底(3)上的安装头(5),一用来固定基底的支承底座(8),以及一定位装置(6、7),其用来将部件与基底对齐。安装头包括一超声波振动发生器(24),一超声波振动传播件(34、38、54),其用来在平行于工作面振动时,将由超声波振动发生器提供的超声波振动传输到一保持部件的工作面(33、41、57),一压力加载器(22、23、39、55、59),其用来沿垂直于工作面的方向从一直接在工作面上方的一位置将一压力载荷施加到工作面上,以及一用来加热工作面附近的加热器(32、47、49、50、51、52、53)。由此,即使部件在其一表面上具有多个隆起电极(2a),也可以高的可靠性实施超声波焊接。
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公开(公告)号:CN100435311C
公开(公告)日:2008-11-19
申请号:CN200480025764.0
申请日:2004-09-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L21/67132 , Y10T156/1132 , Y10T156/1944
Abstract: 在压敏粘板(3)的、与半导体芯片(1)的粘附区域(R1)相对应的底面侧区域的附近被抽吸和保持的同时,移除件(21)的多个凸起部分(30)通过粘板在所述区域处与半导体芯片的底面相接触。并且,粘板被在各个凸起部分之间抽吸和保持,以便将半导体芯片通过粘附而粘附至粘板的表面粘结变成点粘结,并且进一步地,移除件沿着半导体芯片的底面被移动,以便改变点粘结的位置,并且降低通过粘附粘附至粘板的粘结力。然后,半导体芯片从粘板被移除。
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公开(公告)号:CN100394538C
公开(公告)日:2008-06-11
申请号:CN200480020265.2
申请日:2004-08-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67144 , H01L21/67132 , H01L2221/68322 , Y10T29/4913 , Y10T29/53174 , Y10T29/53178 , Y10T29/53183 , Y10T29/53187 , Y10T29/53191
Abstract: 一种元件安装设备(101)配置有:板保持装置(5,6),用于将板(8)保持在板保持位置(A,B,C和D)处;第一安装头(4),用于保持和取出从第一元件馈送位置(E)馈送的元件,并将所述元件安装在保持在板保持位置处的板上;第二安装头(34),用于保持和取出从第二元件馈送位置(F)馈送的元件,以将该元件安装在保持的板上;和具有用于保持晶片(1)的晶片保持台(12)的元件馈送装置(11),在其上:各自的元件被馈送,以便晶片保持台能够在第一元件馈送位置和第二元件馈送位置之间往复地运动。
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公开(公告)号:CN100377293C
公开(公告)日:2008-03-26
申请号:CN03807134.7
申请日:2003-03-27
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/00 , B23K20/10 , H05K1/11 , H01L21/607
CPC classification number: H01L24/81 , B23K20/10 , B23K2101/40 , H01L21/67144 , H01L24/75 , H01L2224/75 , H01L2224/75252 , H01L2224/75355 , H01L2224/75743 , H01L2224/81205 , H01L2224/8121 , H01L2224/81222 , H01L2224/81224 , H01L2224/81815 , H01L2924/01005 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/00
Abstract: 一种部件安装装置,包括:部件馈送器,用来馈送带有其面向下的隆起电极的部件;用来保持部件的后面并将部件安装到安装物体上的安装头;用来固定安装物体的支承底座;以及定位装置,用来对着支承底座相对地移动安装头,以便将部件与安装物体对齐。安装头包括:超声波振动发生器;超声波振动传播件,用来在平行于工作面振动时、将由超声波振动发生器提供的超声波振动传输到保持部件后面的工作面;用来将压力载荷施加到超声波振动传播件的工作面的压力加载器;以及用来加热超声波传播件的工作面和加热部件的后面的加热器。由此,即使部件在其一表面上具有多个隆起电极,也能以高可靠性实施超声波焊接。
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公开(公告)号:CN1316100A
公开(公告)日:2001-10-03
申请号:CN99810354.3
申请日:1999-08-27
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H01L22/12 , H01L24/75 , H01L24/81 , H01L2224/05568 , H01L2224/05573 , H01L2224/05644 , H01L2224/75 , H01L2224/759 , H01L2224/81801 , H01L2924/01006 , H01L2924/01033 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/19041 , H01L2924/19043 , H01L2924/3011 , H01L2924/00 , H01L2924/00014
Abstract: 使电子部件(150)和电路板(20)产生相对振动,所述电子部件的电极(13)和上述电路板的电极部分(21)通过压点(11、12)被焊接在一起时,由振动衰减检测装置(140)以及判定装置(141)测量所述压点和所述电极部分焊接过程导致的振动的衰减,根据该振动衰减来判定所述焊接的好坏。另外,对超声波发生器(133)而言,针对阻抗、或者吸嘴(93)的位移量、或者向VCM(121)提供的电流,将焊接过程中这些波形和正品的波形进行比较,加以判定。通过这样的构成,可以在焊接实施过程中对电子部件与电路板接合的好坏进行判定。另外,在焊接过程中,如果焊接状态变差,可以通过改变焊接条件,防止次品的产生,提高成品率。
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