MEMS加速度计及其吸合失效自恢复的方法

    公开(公告)号:CN119246889A

    公开(公告)日:2025-01-03

    申请号:CN202411218374.0

    申请日:2024-09-02

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS加速度计及其吸合失效在线自恢复的方法,加速度计包括敏感结构和检测电路,敏感结构包括上固定极板、下固定极板和中间可移动极板,所述上固定极板和下固定极板分别连接一个二选一电路的输出端,所述二选一电路的第一输入端和第二输入端分别连接反馈电压Vf/‑Vf和预设电压Vref2,所述二选一电路的输出端连接上固定极板电压VT/下固定极板电压VB,加速度计固定极板电压VT/VB不再固定的唯一连接反馈电压Vf/‑Vf,而是根据反馈电压状态二选一的自动选择连接反馈电压Vf/‑Vf或者预设电压Vref2。本发明通过实时在线的改变固定极板上的加载电压,进而解除导致吸合失效的静电力,使得MEMS加速度计恢复正常;本发明对出现的吸合失效可以在不断电的情形下自行恢复正常工作。

    电迁移测试电路、测试装置和方法

    公开(公告)号:CN114371384B

    公开(公告)日:2025-01-03

    申请号:CN202111575063.6

    申请日:2021-12-21

    Abstract: 本申请提供了一种电迁移测试电路,包括测试模块、数据采集模块及控制模块,其中,测试模块用于根据输出控制信号对待测样品施加预设参数的测试信号;数据采集模块与测试模块连接,用于根据开关动作信号动作,控制待测样品接入对应的测试回路,并采集待测样品的电迁移试验参数信息;控制模块,与测试模块及数据采集模块均连接,用于根据接收的测试触发信号生成输出控制信号,以控制测试模块生成测试信号;及/或根据测试触发信号生成开关动作信号,以控制数据采集模块动作,使待测样品接入对应的测试回路。上述测试电路中,基于控制模块与数据采集模块生成待测样品的寿命预测方程,能相对准确的评估样品使用寿命,大大提高了测试效率。

    微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法

    公开(公告)号:CN113624565B

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202110919009.2

    申请日:2021-08-11

    Abstract: 本发明涉及微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法,微量气氛取样检测装置,包括中空的检测腔体以及真空系统,检测腔体与真空系统连通,检测腔体内设置有测试装置、样品固定装置以及质谱仪,测试装置与样品固定装置对应设置,样品固定装置用于固定设置样品,测试装置能够破坏样品的气密封,质谱仪对样品逸出的气氛进行分析。通过将内部气氛取样和检测分析结构设置在同一个腔体中,相比现有技术不再需要设置具有空间死角的结构,避免了其对样品内部气氛扩散的不利影响,即使样品内的气氛气体很少,其也能够在检测腔体中充分扩散,使质谱仪能够获取并加以测试分析,本发明的微量气氛取样检测装置具有检测灵敏度高、分析检测限低的特点。

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