耗尽电压获取方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114300370A

    公开(公告)日:2022-04-08

    申请号:CN202111367378.1

    申请日:2021-11-18

    Abstract: 本发明提供一种耗尽电压获取方法,耗尽电压获取方法用于获取半导体器件中二维电子气沟道内电子耗尽时的耗尽电压,耗尽电压获取方法包括:获取半导体器件的电容‑反向偏置电压特性曲线;获取电容‑反向偏置电压特性曲线中的电容对反向偏置电压的二阶微分,并得到半导体器件的二阶微分特性曲线;根据半导体器件的二阶微分特性曲线,获取半导体器件中二维电子气沟道内电子耗尽时的耗尽电压,此方法简单直观,可以快速获取半导体器件中二维电子气沟道内电子耗尽时的耗尽电压,方便研发人员使用此方法进行快速试验,加快研发进展,提升企业研发竞争力。

    GaN HEMTs器件结温测试装置及方法

    公开(公告)号:CN117723163B

    公开(公告)日:2024-06-18

    申请号:CN202410172490.7

    申请日:2024-02-07

    Abstract: 本申请涉及一种GaN HEMTs器件结温测试装置及方法。GaN HEMTs器件结温测试装置包括:样品台,样品台包括本体和分液管道,本体开设有用于容置分液管道的容纳腔,本体还用于承载待测器件;测温模块,用于测量本体表面的实际温度;冷却设备,用于根据实际温度和预设温度范围调节流过分液管道的冷却液的流量,以使本体表面的温度维持在预设温度范围内;反射率热成像设备,用于获取待测器件对可见光的反射率,并基于反射率获取结温测试结果。本申请的GaN HEMTs器件结温测试装置及方法能使样品台表面的温度始终维持在预设温度范围内,避免由于样品台温度不稳定而影响待测器件对可见光的反射率,导致最终测试结果不准确的情况发生,提高结温测试结果的准确性。

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