公开(公告)号：CN115326495A

公开(公告)日：2022-11-11

申请号：CN202210162860.X

申请日：2022-02-22

Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))

Inventor： 周斌 ,  郭陈润 ,  赖灿雄 ,  古文刚 ,  黄云 ,  董显山 ,  彭泽亚 ,  李键坷

IPC: G01N1/22 ,  G01N33/00

Abstract: 本发明涉及一种器件内部气氛取样夹具及含量测试装置。该器件内部气氛取样夹具，包括：底座和样品台，底座上设有第一凹槽，第一凹槽的底壁设有供穿刺针穿过的第一穿刺孔；样品台放置在第一凹槽中，样品台上远离第一穿刺孔的端面设有第二凹槽，第二凹槽的开口处设有密封盖，密封盖与样品台端面密封抵接，第二凹槽与密封盖围成一个密封容纳腔，密封容纳腔用于放置待测器件，第二凹槽的底壁上与第一穿刺孔对应的位置设有供穿刺针穿过的第二穿刺孔，第二穿刺孔与第一穿刺孔连通，穿刺针能够依次穿过第一穿刺孔和第二穿刺孔插入待测器件中。上述的器件内部气氛取样夹具，不需要拆除样品台和底座更换待测器件，大大提高了批量测试器件内部气氛的效率。