微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法

    公开(公告)号:CN113624565A

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN202110919009.2

    申请日:2021-08-11

    Abstract: 本发明涉及微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法,微量气氛取样检测装置,包括中空的检测腔体以及真空系统,检测腔体与真空系统连通,检测腔体内设置有测试装置、样品固定装置以及质谱仪,测试装置与样品固定装置对应设置,样品固定装置用于固定设置样品,测试装置能够破坏样品的气密封,质谱仪对样品逸出的气氛进行分析。通过将内部气氛取样和检测分析结构设置在同一个腔体中,相比现有技术不再需要设置具有空间死角的结构,避免了其对样品内部气氛扩散的不利影响,即使样品内的气氛气体很少,其也能够在检测腔体中充分扩散,使质谱仪能够获取并加以测试分析,本发明的微量气氛取样检测装置具有检测灵敏度高、分析检测限低的特点。

    微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法

    公开(公告)号:CN113624565B

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202110919009.2

    申请日:2021-08-11

    Abstract: 本发明涉及微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法,微量气氛取样检测装置,包括中空的检测腔体以及真空系统,检测腔体与真空系统连通,检测腔体内设置有测试装置、样品固定装置以及质谱仪,测试装置与样品固定装置对应设置,样品固定装置用于固定设置样品,测试装置能够破坏样品的气密封,质谱仪对样品逸出的气氛进行分析。通过将内部气氛取样和检测分析结构设置在同一个腔体中,相比现有技术不再需要设置具有空间死角的结构,避免了其对样品内部气氛扩散的不利影响,即使样品内的气氛气体很少,其也能够在检测腔体中充分扩散,使质谱仪能够获取并加以测试分析,本发明的微量气氛取样检测装置具有检测灵敏度高、分析检测限低的特点。

    气氛检测装置的测试装置以及方法

    公开(公告)号:CN111983142A

    公开(公告)日:2020-11-24

    申请号:CN202010735678.X

    申请日:2020-07-28

    Abstract: 本申请涉及一种气氛检测装置的测试装置以及方法。气氛检测装置的测试装置包括:腔体模块包括第一腔体;压强检测模块包括第一检测单元,第一检测单元用于测试第一腔体内的压强;真空模块包括第一真空单元,第一真空单元用于对第一腔体内进行抽真空至第一等效测试气压,以得到第一等效测试气体;管道模块包括第一管道单元,第一管道单元包括连接第一腔体的第一管道组件、第二管道组件、第三管道组件以及第四管道组件,第一管道组件用于向第一腔体内输入第一测试气体,第二管道组件连接第一检测单元,第三管道组件连接第一真空单元,第四管道组件用于向气氛检测装置输出第一腔体内的等效气体。本申请可以有效减少对气氛检测装置的测试时间及成本。

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