观察窗挡板结构和真空镀膜设备
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115537759A

    公开(公告)日:2022-12-30

    申请号:CN202211367527.9

    申请日:2022-11-03

    Abstract: 本发明涉及一种观察窗挡板结构和真空镀膜设备。观察窗挡板结构包括挡板、轴套、连接杆、磁力驱动组件和锁止件;挡板与观察窗相对设置,且位于真空镀膜设备的炉腔内;轴套设于真空镀膜设备上;连接杆的第一端与挡板连接,连接杆的第二端活动插设于轴套;磁力驱动组件与轴套活动连接,用于通过磁力驱动连接杆绕其轴线转动,使得挡板相对于观察窗转动;锁止件用于限制磁力驱动组件相对于轴套的转动。由于观察窗挡板结构采用磁力驱动连接杆转动,磁力驱动组件只需要通过轴套与连接杆间隔连接,就能带动连接杆转动,因此可以保证炉腔内的真空度。同时锁止件能够防止非人为的外力带动挡板转动,进一步保证了挡板遮挡观察窗的有效性。

    腔体器件检测方法及装置

    公开(公告)号:CN111007145B

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN201911155729.5

    申请日:2019-11-22

    Abstract: 本申请涉及一种腔体器件检测方法及装置。其中,腔体器件检测方法包括判断是否接收到各检测点的电信号;电信号为对当前处于振动状态的待测元器件进行检测得到;若判断的结果为是,则根据电信号,确定各检测点中的应激触发点;根据应激触发点,以及各检测点与待测元器件中各腔体的位置关系,输出待测元器件腔体中多余物的位置;位置关系包括各检测点于待测元器件表面形成的覆盖面与各腔体的对应关系。通过上述腔体器件的检测方法,解决了传统技术不能测试出多余物精确位置的问题,并进一步提高了检测结果的精度。在传统技术中,需要通过示波器去观测传感器传输的电信号,以得到检测结果,而本申请可直接输出多余物的位置,提高了检测效率。

    腔体器件检测方法及装置

    公开(公告)号:CN111007145A

    公开(公告)日:2020-04-14

    申请号:CN201911155729.5

    申请日:2019-11-22

    Abstract: 本申请涉及一种腔体器件检测方法及装置。其中,腔体器件检测方法包括判断是否接收到各检测点的电信号;电信号为对当前处于振动状态的待测元器件进行检测得到;若判断的结果为是,则根据电信号,确定各检测点中的应激触发点;根据应激触发点,以及各检测点与待测元器件中各腔体的位置关系,输出待测元器件腔体中多余物的位置;位置关系包括各检测点于待测元器件表面形成的覆盖面与各腔体的对应关系。通过上述腔体器件的检测方法,解决了传统技术不能测试出多余物精确位置的问题,并进一步提高了检测结果的精度。在传统技术中,需要通过示波器去观测传感器传输的电信号,以得到检测结果,而本申请可直接输出多余物的位置,提高了检测效率。

    腔体器件的检测设备及系统

    公开(公告)号:CN111025419A

    公开(公告)日:2020-04-17

    申请号:CN201911155713.4

    申请日:2019-11-22

    Abstract: 本申请涉及一种腔体器件的检测设备及系统。其中,腔体器件的检测设备包括振动设备、振动传感器和主控电路;主控电路包括信号发生电路和芯片;芯片分别连接信号发生电路和振动传感器;信号发生电路连接振动设备;芯片指示信号发生电路向振动设备传输振动驱动信号,以使设于振动设备上的待测元器件处于相应的振动状态;芯片接收贴于待测元器件外表面的振动传感器传输的电信号,并基于电信号输出待测元器件内部多余物的位置。本申请提供的腔体器件的检测设备提高了检测结果的精度,在传统技术中,需要通过示波器去观测传感器传输的电信号,根据电信号的波形等参数,得到检测结果。而本申请中可以直接输出多余物的位置,大幅度的提高了检测效率。

Patent Agency Ranking