印刷电路板和印刷电路板的制造方法

    公开(公告)号:CN103874326A

    公开(公告)日:2014-06-18

    申请号:CN201310403599.9

    申请日:2013-09-06

    IPC分类号: H05K1/11 H05K3/42

    摘要: 本发明公开了一种印刷电路板的制造方法以及一种印刷电路板,该方法包括:(a)在芯层的一个表面上执行孔加工工艺,以加工具有预定高度h1的第一过孔;(b)在所述芯层的该一个表面上执行电镀工艺,以在所述第一过孔内形成第一过孔电极,并在所述芯层的该一个表面上形成第一金属层;(c)在所述芯层的另一表面上执行孔加工工艺以加工第二过孔,所述第二过孔具有预定高度h2且使第一过孔电极的下表面暴露至外部;以及(d)在所述芯层的该另一表面上执行电镀工艺,以在所述第二过孔内形成第二过孔电极,并在所述芯层的该另一表面上形成第二金属层。

    铜互连电镀填充方法
    37.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103700619A

    公开(公告)日:2014-04-02

    申请号:CN201310697825.9

    申请日:2013-12-17

    IPC分类号: H01L21/768 H05K3/42 C25D5/08

    摘要: 本发明涉及一种铜互连电镀填充方法,包括以下步骤:将用于孔填充的镀铜液作为电解液,放入三电极体系中,测量其电化学曲线;根据电化学曲线确定电流峰和电流谷分别对应的电压值;将具有孔结构的样品作为工作电极放入三电极体系中,使孔表面的电压对应于电化学曲线上电流谷对应的电压,通电后取出;测量孔截面各处填充铜的厚度,其最厚处对应于电化学曲线上电流峰的位置;调整镀铜液的浓度,改变其电化学曲线上电流峰和电流谷的位置,使在电镀铜过程中孔表面的电压对应于电化学曲线上电流谷对应的电压,孔底的电压对应于电化学曲线上电流峰对应的电压,即可。本发明能够实现镀铜无缺陷的完美填充,而且操作简便,可广泛用于各种高端电子制造领域。