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公开(公告)号：CN113484540B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202110714156.6
申请日：2021-06-25
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明涉及一种直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法，该直线驱动装置包括定组件、动组件、第一力传感器和第二力传感器。动组件可活动地连接于定组件的一端，且动组件能够沿靠近或远离定组件的方向移动。第一力传感器设于定组件远离动组件的一端，以用于检测由定组件朝向动组件作用于第一力传感器的作用力。第二力传感器设于动组件远离定组件的一端，以用于检测由动组件朝向定组件作用于第二力传感器的作用力。本发明提供的直线驱动装置消除了直线驱动装置在动态响应过程中存在的误差，从而有利于直线驱动装置运动过程的精确控制。
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公开(公告)号：CN108761128B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN201811031507.8
申请日：2018-09-05
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开一种压电振动激励自诊断MEMS加速度计表芯及加速度计。所述加速度计表芯包括：上极板、中间极板、下极板和振动台，所述中间极板位于所述上极板和所述下极板正中间，所述中间极板通过一根悬梁连接到固定位置，所述上极板与所述中间极板构成第一电容，所述下极板与所述中间极板构成第二电容，所述第一电容与所述第二电容构成一对差分电容；所述振动台包括反馈层和振动层，所述反馈层位于所述下极板下侧，所述振动层位于所述反馈层下侧；所述反馈层表面引出反馈输出正电极和反馈输出负电极，所述振动层表面引出驱动正电极和驱动负电极。采用本发明的表芯和加速度计能够实现对振动层振动幅度的检测。
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公开(公告)号：CN117434299A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202311582672.3
申请日：2023-11-24
Applicant: 扬州英迈克测控技术有限公司
Abstract: 本发明公开了压电式加速度计技术领域内的一种抗冲击的压电式加速度计，包括：外壳，外壳内开设有第一空腔，第一空腔顶部开设有第一开口，第一开口处设置有盖板；压电敏感芯体组件，设置于第一空腔内，压电敏感芯体组件顶面和底面均分别设置有绝缘垫片和弹性件；定位圈，设置于第一空腔内，定位圈包覆压电敏感芯体组件周面，定位圈设置于压电敏感芯体组件与第一空腔内壁之间；压圈，设置于第一空腔内，压圈设置于盖板和压电敏感芯体组件顶面之间。本压电式加速度计的压电敏感芯体与外壳之间设置有弹性件、绝缘垫片、压圈和定位圈，从而使得压电敏感芯体被可靠固定于外壳内且形成可靠的电气隔离，提升了抗冲击性，抑制零飘。
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公开(公告)号：CN117054684A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202210494758.X
申请日：2022-05-07
Applicant: 华为技术有限公司
IPC: G01P15/093 , G01P15/09 , G01P15/08 , G01M7/02 , G01M15/02
Abstract: 本申请提供了一种光传感装置、检测系统、检测方法及交通工具，其中，该光传感装置包括光纤、配重部件和应变部件，应变部件的一端与光纤连接，应变部件包括反射腔，反射腔相对的两端分别设置有第一反射面和第二反射面，第一反射面和第二反射面用于反射光纤传输来的光。配重部件与应变部件背离光纤的一端连接，用于挤压应变部件，使得应变部件的反射腔的腔长改变。本申请提供的光传感装置，利用光学原理可以根据应变部件中腔长的变化量来反映加速度的变化，结构简单，成本低，信号处理方便，可响应较高频段的加速度信号，能够应用于多种加速度、振动、冲击测试等场景。
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公开(公告)号：CN114295863B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202111615618.5
申请日：2021-12-27
Applicant: 中国人民解放军战略支援部队航天工程大学
Abstract: 本发明涉及一种基于单磁悬浮控制敏感陀螺的三轴加速度测量方法。磁悬浮控制敏感陀螺转子通过磁悬浮轴承实现主动差动控制，磁悬浮转子的轴向单自由度悬浮通过全主动轴向磁轴承控制，径向两自由度悬浮通过全主动径向磁轴承控制。当磁悬浮控制敏感陀螺安装到载体上，载体运动产生加速度，磁悬浮转子受力在平衡位置附近可以线性化，最终得到转子受力‑控制电流与受力‑位移的一次线性关系，通过测量磁轴承的控制电流和转子位移就可以得到载体加速度，该方法可以通过单个磁悬浮控制敏感陀螺完成载体三轴加速度的测量，实现了单个磁悬浮控制敏感陀螺完成三轴加速度计的功能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116750709A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310647135.6
申请日：2023-06-02
Applicant: 南京高华科技股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例公开了一种MEMS加速度与压力集成传感器及其制备方法。包括：第一衬底，设置有空腔；设置于第一衬底的埋氧层、器件层和第一钝化层，三者对应空腔的部分形成敏感薄膜；第一压敏电阻和第一欧姆接触区，内嵌于器件层的表面；设置于第一钝化层的牺牲层、结构层和第二钝化层，结构层和第二钝化层对应空腔的部分悬空形成质量块和悬臂梁；第二压敏电阻和第二欧姆接触区，内嵌于悬空部分的结构层背离第一衬底的表面；引线层和金属填充层，引线层设置于第二钝化层的表面，金属填充层分别与引线层、第一欧姆接触区和第二欧姆接触区电连接；第二衬底，与第一衬底背离第一钝化层的表面连接。提高集成化程度，降低生产成本，简化工艺流程。
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公开(公告)号：CN115124016B
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202210535488.2
申请日：2022-05-17
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明涉及一种稀土磷酸盐晶体的压电切型及其在高温传感领域中的应用，所述稀土磷酸盐晶体的压电切型兼具高压电活性和低串扰响应特征，同时具有良好的温度稳定性，有利于提高压电传感器件的灵敏度。本发明的压电加速度传感器在25‑650℃温度范围内实现了较为稳定的信号输出，在压电传感技术领域具有明朗的应用前景。本发明所提出的具有最优切变振动模态晶体切型，加工方法简单，只需绕X轴旋转一次即可直接加工出最优晶体切型，样品制备简便。
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公开(公告)号：CN116430071A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202211242170.1
申请日：2022-10-11
Applicant: 成都凯天电子股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种内嵌式压电加速度传感器结构，属于压电加速度传感器技术领域，内嵌式压电加速度传感器结构包括基座，基座上设置有凹槽，凹槽内设置有两个第一压电元件，两个第一压电元件之间设置有一个弹性质量块，弹性质量块使两个第一压电元件分别贴合于凹槽的两个侧面上。第一压电元件与弹性质量块的重量通过基座凹槽两侧支撑，无传统剪切式结构的中心柱，摆脱了中心柱结构尺寸对小型化的制约，增大传感器结构小型化的潜力。同时，凹槽两侧支撑的形式比单个中心柱的支撑刚度更大，传感器可达到更宽的频率响应范围和更小的测量误差。
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公开(公告)号：CN116298388A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202211580206.7
申请日：2022-12-09
Applicant: 中国核动力研究设计院
Abstract: 本发明涉及加速度传感器技术领域，具体涉及一种耐高温高压的差分式压电加速度传感器，包括：压电测量体，所述压电测量体能够根据被测设备的振动输出压电信号；安装座，所述安装座的下侧用于连接被测设备，所述安装座的上侧安装有所述压电测量体；密封壳，所述密封壳的下端与所述安装座外周密封固定连接，所述密封壳用于密封所述压电测量体；高温电缆，所述高温电缆密封穿设在所述密封壳的侧壁，且所述高温电缆与所述压电测量体电连接。本发明能够确保密封壳整体的密封性，进而能够在高温高压的环境下稳定运行，可广泛应用于高温高压环境中的振动测试。
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公开(公告)号：CN116243018A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202310458982.8
申请日：2021-11-02
Applicant: 基斯特勒控股公司
Abstract: 本发明涉及一种加速度传感器(1)，具有：基体(12)，基体具有切向侧面(12.1，12.2，12.3，12.4)和法向侧面(12.6，12.7)，切向侧面相对于竖轴(z)切向地布置，法向侧面相对于竖轴法向地布置；至少一个压电元件，其紧固在切向侧面上；至少一个试验块，其紧固在压电元件上；壳体(1.2)和信号输出端(1.4)，其紧固在壳体上并且具有信号导体；其中，没有压电元件紧固于其上的切向侧面跨越垂直于竖轴延伸的组装间隙(1.24)与信号导体间隔开地布置；第一法向侧面(12.7)或紧固在第一法向侧面上的支架(13.7)具有基体输出导体；基体输出导体跨越垂直于竖轴的组装间隙与信号导体直接接触。
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